V prostředí litografie není opakovatelnost procesu zahřívání fotorezistu jen výhodou – je to nezbytnost. Odchylka o 2 °C během měkkého nebo tvrdého zahřívání může narušit kontrolu kritických rozměrů desky. Jeden jediný částicový útok může zničit celou sérii výrobků. Naše infračervené lampy bez ozonu byly navrženy tak, aby tyto faktory odstranily.
Co je z hlediska technologie důležité Tyto lampy pracují v oblasti blízkého infračerveného spektra a nevytvářejí ozón. Díky tomu nemusíte používat katalyzátory a vyhnout se tak problémům spojeným s jejich údržbou. V osvětlené oblasti zůstává tepelná jednotnost desky na úrovni ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost mezi jednotlivými cykly zůstává v rozmezí ±0,2 °C.
Systém je určen pro prostředí tříd 1–100: používají se materiály s nízkou emisí plynů, uzavřené optické cesty a systém proudění vzduchu, který udržuje částice daleko od desky. Stabilita výstupního signálu je menší než 1 % během více než 5 000 hodin provozu – to znamená, že systém dokáže fungovat 24/7 bez potřeby neustálé kalibrace.
Proč funguje v průmyslové výrobě Průběh zpracování fotorezistu závisí na tepelných podmínkách. Naše infračervené lampy rychle a efektivně zahřívají desku, přičemž pevná kontrola teploty zajišťuje konzistentní teplotní podmínky mezi jednotlivými serii výrobků. Díky tomu dosahujete lepší jednotnosti rozměrů desky, méně oprav a předvídatelnější výsledky výroby.
Jelikož lampy rychle dosahují požadované teploty a udržují ji bez překročení limitů, snižuje se spotřeba energie. Delší doba provozu také snižuje potřebu náhradních dílů a náklady na údržbu. Na pokročilých úrovních výroby chrání kombinace absence ozonu, nízké produkce částic a přesné kontroly teploty desku – a zároveň i samotné pracovní prostředí.
Na co je potřeba brát ohled Tyto lampy se integrují s standardními rozhraními polovodičového vybavení, ale je důležitý i tepelný výdej zařízení. Při instalaci je nutné vzít v úvahu schopnost zařízení odvádět teplo a směr proudění vzduchu – pokud není chladicí systém správně navržen, dojde k problémům s dlouhodobou stabilitou.
Je potřeba provést krátký testovací cyklus, abyste ověřili správnost nastavení teploty vzhledem k vrstvám fotorezistu a pohybu desky. Jakmile dosáhnete správného zarovnání, proces bude předvídatelný.