Out on the fab floor, lernen Sie, Temperaturschwankungen bei der Fotoresistverarbeitung wie einen alten Feind zu behandeln. Ein Softbake bei 90°C mit ±3°C über das Wafer hinweg? Diese Streuung verschiebt den kritischen Dimensionsbias und hinterlässt Randtröpfchen, die später als Nacharbeit zurückkehren. Deshalb haben wir ein kundenspezifisches industrielles Infrarot-Fabsystem entwickelt, um diese Unsicherheit auszuschalten – und reproduzierbare Wärme genau dort zu liefern, wo der Prozess sie benötigt, ohne Luftbewegung und ohne Partikelentstehung.
Technisch relevante Aspekte
Wir setzen kurzwellige Infrarotstrahler mit schneller, direkter Wafer-Ankopplung ein, sodass wir schnell hochfahren und mit echter Regelung stabil halten können. Die thermische Gleichmäßigkeit über den Chuck bleibt innerhalb von ±0,1°C, und die Temperaturwiederholbarkeit von Charge zu Charge liegt besser als ±0,5°C.
Das Modul ist dank eines dichten thermischen Designs und Materialien mit geringer Ausgasung bis in die Reinraumklasse 1–100 kompatibel. Partikelbildung während des Bake-Prozesses bleibt bei null. Eine integrierte Messtechnik speist einen Regelkreis, der den Sollwert hält, selbst bei Spannungsschwankungen und wechselnden Umgebungsbedingungen.
Das Ergebnis ist ein thermisches Budget, auf das man sich verlassen kann – konsistente Softbake- und Hardbake-Profile, Tag für Tag.
Warum es dort funktioniert, wo es zählt
Lithografie und Resist-Härtung sind auf thermische Stabilität angewiesen. Dieses System sichert den Bake-Schritt, so dass die Linienbreitenkontrolle präziser wird und die Randtröpfchenentfernung vorhersehbar funktioniert. Ausschuss wird reduziert, Nacharbeit minimiert und Abweichungen, die in den Ausbeuten kosten, gehören der Vergangenheit an.
Auch der Energieverbrauch sinkt, da die Strahler gezielt das Ziel erwärmen, nicht den gesamten Bereich. Die Betriebszeit bleibt dank eines für den 24/7-Betrieb ausgelegten Designs stabil, und das Strahlerpaket ist modular aufgebaut, sodass es in wenigen Minuten gewechselt werden kann.
Worauf es ankommt
Das Modul lässt sich in neue oder bestehende Tracks integrieren, aber planen Sie die Stellfläche und Schnittstellen frühzeitig. Die Inbetriebnahme geht schnell, wenn Rezepttemperaturen, Sensoroffsets und Fördergeschwindigkeit vorab abgestimmt sind.
Die Strahler arbeiten mit hoher Intensität, daher ist eine thermische Isolierung benachbarter Stationen zwingend erforderlich. Und wenn Sie verhindern wollen, dass die Schutzlogik anspricht, ist eine geregelte Stromversorgung im Reinraum ein Muss – sonst schalten Transienten die Steuerung ab.
Richtig eingerichtet läuft die Linie ohne ungeplante Unterbrechungen. Dadurch öffnen sich Ihre Prozessfenster.