Hören Sie auf, Energie an die Wände der Geräte zu verschwenden Das Erwärmen einer Siliziumwafer erfordert eine enorme Menge an Energie. Das Problem...

Hören Sie auf, Zeit zu verschwenden: Warum Infrarotheizung besser ist als Heißluft zur Erwärmung von Wafern Lassen Sie uns über das Problem des...

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafer zerstören! Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem...

Wie man seine MEMS-Wafer während des Trocknungsprozesses sauber hält Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, kennt man dieses Problem:...

Das perfekte Layout mit Infrarotheizung erreichen Wenn Sie eine intelligente Fertigungsanlage für Industrie 4.0 errichten möchten, müssen Sie auf die...

Hören Sie auf, die Wärme aus den Heizlampen einfach überallhin entweichen zu lassen. Das Problem mit IR-Lampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen...

Großhandelslösung für das Trocknen von Halbleiterwafeln: Die wahre Geschichte hinter der Leistungsfähigkeit Lassen Sie uns über die schnelle...

In der Lithografie ist die Aushärtung des Polyimids nicht einfach nur ein weiterer Heizschritt. Vielmehr bestimmt das thermische Verhalten den Grad...

Im Bereich der Lithografie kennen Sie das Problem sicherlich: Eine Abweichung von einem halben Grad bei der Backtemperatur führt dazu, dass die...

Auf der Fertigungslinie kann eine Drift von 0,3 °C beim Backen des Photoresists zu einer Linienbreitenabweichung führen, die einen kompletten...

Auf einer 300mm-Linie kann man beobachten, wie der Ertrag bei einer Drift von 0,5°C während des Bakens von Photoresist schwindet. Die Kontrolle der...

On the line, Durchsatz bei Photovoltaik-Wafern steht und fällt mit einer verlässlichen Temperaturkontrolle. Driftet die Temperatur während des...

Auf dem Fertigungsboden kann ein einziger Fehler beim Softbake eine gesamte Lithographieschicht zunichtemachen. Wenn die Trocknungslampe nachlässt,...