Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafer zerstören!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem sicherlich. Ein winziger Staubkorn – etwas, das man nicht einmal sehen kann – landet auf einem Wafer – und plötzlich ist die ganze Charge nutzlos. Das ist frustrierend und kostspielig. In den meisten Fällen liegt das Problem an der Ausgasung oder dem Ablöschen von Stoffen durch die Heizelemente.
Wir haben beschlossen, dieses Problem zu lösen, indem wir für unsere IR-Lampen hochreinen synthetischen Quarz verwenden.
Warum der Quarz wichtig ist
Standardglas oder billiger Quarz können die hohen Temperaturen in einer Halbleiterumgebung einfach nicht aushalten. Wenn es heiß wird, zerfallen diese Verunreinigungen. Man sieht dann, wie die Lampe „raucht“ oder Partikel absondert – genau in dem Moment, in dem die Temperatur steigt.
Unser gefasster Siliziumdioxid ist anders. Wir halten die metallischen Verunreinigungen auf ein absolutes Minimum, damit die Lampe sauber bleibt. Zudem ist sie chemisch inerte – sie reagiert nicht auf die Prozessgase, die in die Anlage geleitet werden.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird
Sie brauchen, dass der Wafer schnell heiß wird. Gleichzeitig möchten Sie jedoch die Luft um ihn herum nicht erwärmen.
Unsere Lampen nutzen Kurzwellenstrahlung. Diese trifft direkt auf die Oberfläche des Wafers. Das ist wichtig, denn dadurch werden die Konvektionsströmungen reduziert, die Staubpartikel aufwirbeln und diese in Richtung des Produkts bringen.
Sie können die Lampen so konfigurieren, dass sie zu Ihrer spezifischen Leistung und Spannung passen. Wenn Sie eine hohe Leistungs-dichte wünschen, sparen Sie viel Platz im Reinraum. Allerdings: Wenn man so viel Energie durch einen kurzen Schlauch leitet, entsteht viel Wärme. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlsysteme dazu in der Lage sind – sonst können Ihre Anschlüsse schaden.
Einfacher Austausch, weniger Stress
Niemand möchte stundenlang mit Wartungsarbeiten verbringen. Wir bieten verschiedene Endkappen an, damit eine perfekte Abdichtung gewährleistet wird – das ist die einzige Möglichkeit, Lecks im Reinraum zu verhindern.
Wenn eine Lampe kaputtgeht, kann man sie einfach austauschen. Es ist kein Bedarf vorhanden, das gesamte System neu zu verbinden oder den Bereich tagelang zu reinigen. Es geht schnell und sauber – und Sie können wieder mit der Arbeit fortfahren, ohne dass neue Verunreinigungen entstehen.