Im Bereich der Lithografie kennen Sie das Problem sicherlich: Eine Abweichung von einem halben Grad bei der Backtemperatur führt dazu, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Dadurch müssen die Wafer entsorgt werden.
Wir haben diesen Heizer zur Messung der Oberflächenspannung der Wafer entwickelt, um solche Abweichungen bereits im Vorfeld zu verhindern. Er kommt genau dann zum Einsatz, wenn chemische Prozesse, thermische Bedingungen und Oberflächenenergie perfekt aufeinander abgestimmt sein müssen – innerhalb eines bestimmten Zeitraums während des Backvorgangs.
Der Kern des Systems besteht darin, dass der Heizer eine thermische Gleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1°C gewährleistet. Die Stabilität der Einstellwerte bleibt auch dann konstant, wenn die Anlage rund um die Uhr in Betrieb ist.
Der Heizer ist kompakt genug, um in Inline-Messstationen untergebracht zu werden. Sein Design ist für Reinräume geeignet – er entspricht den Standards der Klasse 1–100. Zudem sorgen die Materialien mit geringer Gasemission dafür, dass die Partikelzahl konstant bleibt. Eine Null-Partikel-Generierung ist kein Marketingversprechen – sie wird durch ein geschlossenes Wärmesystem erreicht, das jegliches Austrittsverhalten verhindert.
In den Datensätzen kann man die Wiederholgenauigkeit erkennen. Jeder Backvorgang wird mit präzisen Toleranzen aufgezeichnet – dadurch entsteht jedes Mal das gleiche Temperaturprofil.
Was bedeutet das in der Praxis? Der Soft- und Hard-Bake-Vorgang wird zu einem deterministischen Prozess – es handelt sich dabei nicht mehr um ein Ratespiel. Dadurch wird eine bessere Gleichmäßigkeit der kritischen Abmessungen erreicht, weniger Wafer müssen zurückgearbeitet werden, und es entsteht weniger Schrott durch unvollständige Aushärtung des Photoresists.
Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer schnell die gewünschte Temperatur erreicht und diese auch halten kann, ohne überzulaufen. Auch die ungeplanten Stillstandzeiten nehmen ab, denn die thermische Stabilität erspart es, die Anlage ständig im Auge zu behalten.
Ein Hinweis zur Installation: Das Gerät funktioniert am besten, wenn die Befestigung in der Kammerinnerung innerhalb von 0,1 mm justiert ist und der Kühlstrom dem Betriebszyklus entspricht. Es wird eine kurze Einrichtungsphase benötigt, um das optimale Temperaturprofil für Ihren Photoresist zu ermitteln. Danach bleibt der Prozess stets unter Kontrolle.