Auf der Herstellungsfläche kann schon eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad ausreichen, um die kritischen Abmessungen der Bauteile zu stören und somit ganze Produktchargen zu ruinieren. Deshalb haben wir einen SCR-Stromregler entwickelt, der diese Temperaturschwankungen bereits an der Quelle verhindert – dadurch bleibt die Leistung der Lampe konstant, unabhängig von der Netzspannung.
Was technisch wichtig ist:
Es handelt sich um einen geschlossenen Regelkreis mit SCR-Steuerung, der mit einem Lampenantrieb kombiniert ist, der für Halogen-, Quarz-, Kurzwellen-, Mittelwellen- sowie Kohlenstofffaser-NIR-Quellen geeignet ist. Dadurch wird eine thermische Homogenität von ±0,1 °C auf der Backplattenebene erreicht. Die Wiederholgenauigkeit zwischen den verschiedenen Chargen liegt bei ±0,2 °C. Die Ausgangsspannung hält innerhalb von 0,1 % des eingestellten Wertes – mit einer Reaktionszeit von unter 10 ms auf Änderungen der Eingangsspannung oder des Stromflusses. Das Gerät ist für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 konzipiert – es entstehen keine Partikel durch die thermische Anlage, außerdem ist die Schaltung so gestaltet, dass sie die Lithografieprozesse nicht stört.
Bei der Bearbeitung von Fotolacken ist die Temperaturkontrolle entscheidend – egal ob es sich um weiche oder harte Backvorgänge oder um Nachbehandlungen nach der Belichtung handelt. Mit dem SCR-Regler bleibt die Energiezufuhr zur Lampe konstant, sodass man jedes Mal die gewünschten Ergebnisse erzielt. Dadurch werden weniger Nacharbeiten nötig, die Qualität der Produkte verbessert sich, und man kann sich auf konstante thermische Bedingungen verlassen – egal welche Wafern oder Produktchargen verwendet werden.
Außerdem wird Energie eingespart, da die Lampe nicht überlastet wird, um Schwankungen auszugleichen. Zudem verlängert sich die Lebensdauer der Lampe unter stabilen Betriebsbedingungen.
Hier sind die praktischen Details, die Sie kennen müssen: Der Lampenantrieb muss an die Resistanzkurve der Lampe beim Kaltstart angepasst werden. Nicht passende Lampen können zu hohen Einströmen führen, was wiederum den Schutzmechanismus auslöst. Bei der Installation ist eine separate, geräuscharme Steuerleitung erforderlich, die weit entfernt von den Hochstromleitungen verlegt werden muss. Zudem muss die Wärmeübertragungsoberfläche sauber und eben sein, damit die gewünschte Homogenität erreicht wird.
Erwarten Sie eine kurze Einstellphase, um den PID-Regler für Ihre spezifische Lampe und Backplatte anzupassen.