دیگر دستهایتان را نسوزانید: روش بهتری برای گرم کردن تجهیزات نیمههادی
اگر تا به حال در کارخانههای تولید نیمههادی کار کردهاید، میدانید که چقدر این موضوع دشوار است. تجهیزات نیاز به گرما دارند، اما دیوارههای خارجی آنها باید سرد باقی بمانند.
مشکل اینجاست که اکثر گرمکنهای معمولی، گرمای بیش از حدی تولید میکنند؛ این گرما به همه جهات پخش میشود و باعث میشود داخل کابینت بسیار گرم شود. در نتیجه، دیوارههای کابینت نیز گرم میشوند و میتوانند به اپراتورها یا سنسورهای موجود آسیب برسانند. این موضوع یک تهدید جدی برای ایمنی است.
روشی که ما برای حل این مشکل استفاده میکنیم:
به جای گرم کردن همه چیز، از گرمایش متمرکز با استفاده از امواج مادون قرمز استفاده میکنیم. میتوانید آن را مانند تغییر از یک لامپ که کل اتاق را روشن میکند، به یک فانوس که نور را به سمت خاصی میفرستد، در نظر بگیرید.
ما از انتشارکنندههای موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این انتشارکنندهها گرما را مستقیماً به سمت ویفر یا سطح مورد نظر میفرستند. با تنظیم زاویه انتشار، گرما دقیقاً به جای مناسب خود میرسد. دیوارههای کابینت نیز سرد باقی میمانند، زیرا تحت تأثیر گرمای اضافی قرار نمیگیرند.
اما این روش به این سادگیها انجام نمیشود؛ باید در تنظیمات دقت کرد. نقطه تمرکز نور باید دقیقاً روی ناحیه مورد نظر قرار بگیرد. اگر حتی کمی از مرکز منحرف شود، نواحی گرم و سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد؛ که این امر مطلقاً خوب نیست.
ما معمولاً از لامپهای کوارتزی استفاده میکنیم؛ این لامپها میتوانند گرما را تحمل کنند بدون اینکه گازهای زائدی تولید شود؛ این امر باعث میشود فضای کاری تمیز بماند. فقط توجه داشته باشید که این لامپهای پرتوان، گرمای زیادی تولید میکنند؛ حتماً از منابع تغذیهای کافی برای مقابله با این گرمای اضافی استفاده کنید، در غیر این صورت مجبور خواهید بود بعداً سوئیچها را دوباره فعال کنید.
پاداش این کار، ارزشش را دارد.
اولاً، تکنسینها میتوانند بدون نگرانی از سوختگی، به تجهیزات دست بزنند؛ این موضوع برای افزایش روحیه و ایمنی بسیار مهم است.
علاوه بر این، سیستم تهویه هوا نیز از فشار کمتری رنج میبرد؛ زیرا گرمای اضافی به اتاق وارد نمیشود.
شما همچنین میتوانید سرعت راهاندازی تجهیزات را افزایش دهید، فضای کاری خنکتری داشته باشید، و سیستمی کارآمدتر داشته باشید. این یک تغییر ساده اما مفید است.