در فرآیند لیتوگرافی، خشک شدن پلیایمید تنها یک مرحله گرمایشی ساده نیست؛ بلکه تنظیم دما، عاملی کلیدی در تعیین قابلیت اطمینان دستگاه است. تغییر دما به میزان ۱ درجه سانتیگراد میتواند باعث ایجاد تنش، شکستن اتصالات و از بین رفتن نتایج کارهای انجام شده در طول یک هفته شود. بنابراین، نیاز به یک سیستم وجود دارد که دما را به عنوان بخشی از فرآیند در نظر بگیرد، نه چیزی که بعداً در نظر گرفته شود.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما این سیستم را با دقت ±۰.۱ درجه سانتیگراد طراحی کردهایم؛ این دقت در سراسر ویفر با استفاده از سنسورهای مربوطه بررسی شده است، نه از طریق میانگینهای کلی اتاق. هیتر این سیستم از ساختار کوارتزی برخوردار است و برای ایجاد منحنی گرمایشی سریع و قابل تکرار طراحی شده است. این امر باعث میشود پلیایمید در مسیر خشک شدن مناسب قرار بگیرد، بدون هیچ تأخیر یا اختلال گرمایی.
سازگاری این سیستم با محیطهای پاک نیز از همان ابتدا در نظر گرفته شده است؛ مواد مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، اتصالات بسته، و قطعاتی که گاز کمی تولید میکنند، باعث کنترل تعداد ذرات میشوند. عدم تولید هیچ ذرهای یک شعار نیست؛ ما این موضوع را با استفاده از سنسورهای موجود در حین فرآیند کار، اندازهگیری میکنیم. نتیجه این کار، فرآیندهای خشک شدن قابل تکرار در هر شیفت کاری است.
چرا این سیستم در کارخانههای واقعی موفق عمل میکند؟
خشک شدن پلیایمید در نقطه تلاقی بازدهی و کیفیت قرار دارد. کنترل دقیق دما، باعث کاهش مواد باکیفیت نامناسب و کارهای تکراری میشود؛ همچنین باعث ثبات ابعاد مهم در لایههای بعدی میشود. این سیستم به صورت ۲۴/۷ کار میکند، و تنها در زمانهای برنامهریزی شده برای تعمیرات، متوقف میشود.
سرعت تنظیم دما و کاهش هزینههای انرژی، باعث میشود هزینههای عملیاتی کاهش یابد، بدون اینکه دقت فرآیند کاهش یابد.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
این سیستم نیاز به منبع تغذیه برق پاک و جریان هوای کنترلشده دارد تا بتواند دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کند. یکپارچهسازی این سیستم در مسیرهای استاندارد نیز آسان است؛ اما باید فضای لازم برای آن و مسیرهای تخلیه هوا را از ابتدا برنامهریزی کرد.
باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا پروفایلهای دقیق خشک شدن پلیایمید مشخص شود. پس از تعیین این پروفایلها، فرآیند کنترل شده و قابل پیشبینی خواهد بود.