دیگر اجازه ندهید انرژی گرمایی خود را هدر دهید!
مشکل لامپهای مادون قرمز استاندارد این است که گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی ۳۶۰ درجه از اطراف. وقتی چنین لامپی را در داخل محفظه نیمههادی قرار میدهیم، نه تنها ویفر گرم میشود، بلکه دیوارههای داخلی، بدنه دستگاه و تقریباً همه چیز در داخل دستگاه نیز گرم میشود. این کار باعث هدررفت انرژی میشود؛ و صادقانه بگوییم، این موضوع میتواند خطرات ایمنی زیادی به همراه داشته باشد. هیچ کس نمیخواهد دستگاهی داشته باشد که آنقدر گرم باشد که باعث سوختن اپراتور شود، فقط به این دلیل که گرما در همه جا پخش میشود.
راهحل مناسب:
ما این مشکل را با قرار دادن یک لایه نازک از طلا روی نیمه عقبی غلاف کوارتزی حل میکنیم. میتوان آن را مانند یک آینه با کارایی بالا برای نور مادون قرمز در نظر گرفت. به جای اینکه انرژی به سمت بدنه دستگاه برگردد، طلا آن را دوباره به سمت جلو پرتاب میکند. این کار باعث میشود گرما در همان نقطه مورد نیاز متمرکز شود. در نتیجه، ویفر به دمای مورد نیاز خود میرسد، اما دیوارههای داخلی دستگاه سرد باقی میمانند.
مزایا و معایب:
از آنجایی که گرما در یک جهت متمرکز میشود، میتوانید از تراکم انرژی بالاتری استفاده کنید، بدون اینکه نگران ذوب شدن سیمهای داخلی دستگاه یا فعال شدن سنسورهای حرارتی باشید. این روش برای مراحلی که نیاز به استابیلیت حرارتی بالا دارند، بسیار مفید است.
اما یک معایب هم وجود دارد: از آنجایی که تمام انرژی در یک جهت میرود، تراکم انرژی در نقطه مورد نظر بسیار بالا میشود. اگر ماده مورد استفاده نتواند این تغییرات را تحمل کند، ممکن است نقاط گرمی روی سطح ماده ایجاد شود. در این صورت باید کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید تا بتوانند این انرژی اضافی را مدیریت کنند. این یک تنظیم کوچک است، اما منجر به سودهای بزرگی میشود.
چرا این موضوع مهم است؟
وقتی از لامپهای پوشیده شده با طلا استفاده میکنید، دیگر نیازی نیست از فنهای خنککننده بزرگ و پرحجم استفاده کنید. این کار باعث میشود کل ساختار دستگاه سبکتر شود؛ اپراتورها میتوانند بدون هیچ مشکلی در اطراف دستگاه حرکت کنند، و هزینههای انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا دیگر نیازی نیست هوای داخل دستگاه را گرم کنید. این روش واقعاً مؤثرتر است.