
دستیابی به دمای مناسب برای ویفر
وقتی که از لامپهای مادون قرمز در محیطهای تمیز برای گرم کردن ویفر استفاده میکنید، باید تعادل خاصی برقرار کنید. شما نیاز به انتقال دقیق گرما به ویفر دارید، اما نمیخواهید انرژی را هدر دهید یا محیط اطراف را خراب کنید.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این بهترین روش برای اطمینان از این است که انرژی الکتریکی صرف شده واقعاً به صورت گرما به ویفر منتقل شود، نه اینکه فقط فضای اطراف را گرم کند.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
اکثر مردم از آلومینیوم برای این منظور استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم مقدار زیادی انرژی مادون قرمز را جذب میکند. ما از طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در بازتاب فوتونهای مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد. در نتیجه، گرما در جای خود باقی میماند و شما میتوانید سریعتر به دمای مورد نظر برسید. همچنین، میزان انرژی مورد نیاز برای حفظ این دما کمتر خواهد بود.
مقابله با بار حرارتی
واتیژه تنها نیمی از مسئله است؛ شکل بازتابنده نقش مهمی در تمرکز انرژی دارد.
ما از منحنیهای پارابولیک یا بیضوی برای تمرکز انرژی استفاده میکنیم؛ این روش به حفظ اندازه کوچک لامپ کمک میکند. اما مشکل اینجاست که وقتی انرژی زیادی در فضای کوچکی جمع میشود، انتهای لامپ به شدت گرم میشود.
حتماً کابلها را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که کانکتورها میتوانند جریان لازم را تحمل کنند، در غیر این صورت ممکن است لامپ آسیب ببیند.
تعادل بین کارایی و نگهداری
طلا به دلایل خاصی بهترین گزینه است، اما نگهداری آن کمی پیچیده است. این سطوح حساس هستند؛ اگر روشهای نگهداری محیط تمیز رعایت نشود و روغن یا گرد و غبار روی لایه طلا بریزد، توان بازتاب نور کاهش خواهد یافت. همچنین نمیتوانید از مواد شیمیایی قوی برای تمیز کردن آن استفاده کنید؛ زیرا این کار باعث از بین رفتن لایه طلا خواهد شد.
ما این لامپها را طوری طراحی میکنیم که از هر وات انرژی، حداکثر گرما استخراج شود. این کار باعث کاهش فشار بر منبع تغذیه لامپ میشود و از گرم شدن بیش از حد محیط جلوگیری میکند، البته به شرطی که فنهای خنککننده نیز به خوبی کار کنند.