در فرآیند لیتوگرافی، تکرارپذیری عملیات حرارتدهی فوتورزیست، چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه خودش بخشی از فرآیند تولید است. اختلاف دمایی ۲ درجه سانتیگراد در حین حرارتدهی، میتواند کنترل ابعاد مهم قطعات را مختل کند؛ همچنین، وجود حتی یک ذره نیز میتواند کل محموله تولید شده را نابود کند. ما لامپهای مادون قرمز بدون ازن را طراحی کردهایم تا این مشکلات را از بین ببریم.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ این لامپها با استفاده از نور مادون قرمز، بدون ایجاد ازن، کار میکنند؛ بنابراین نیازی به استفاده از کاتالیزورهای خاص و همچنین مراقبتهای پیچیده مربوط به آنها نیست. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دمایی در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، تکرارپذیری عملیات در هر بار تولید نیز در حد ±۰٫۲ درجه سانتیگراد باقی میماند.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد مورد استفاده دارای میزان گاز خروجی پایینی هستند، مسیرهای نوری نیز بسته هستند؛ همچنین، جریان هوا نیز به گونهای است که ذرات از رسیدن به ویفر جلوگیری کند. پایداری خروجی این لامپها در طول ۵۰۰۰ ساعت کاری، کمتر از ۱٪ است؛ یعنی این لامپها میتوانند در شرایط کاری ۲۴/۷ نیز کار کنند، بدون نیاز به تنظیم مداوم.
چرا این لامپها در فرآیند تولید کارایی دارند؟ فرآیند پردازش فوتورزیست، به شدت به شرایط حرارتی بستگی دارد. لامپهای مادون قرمز ما، ویفر را به سرعت و مستقیماً گرم میکنند؛ همچنین، کنترل دقیق دما نیز باعث میشود که شرایط حرارتی در هر محموله تولیدی یکسان باقی بماند. در نتیجه، یکنواختی ابعاد ویفر بهتر میشود، تعداد تولیدات مجدد کاهش مییابد، و میزان بازدهی تولید نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
از آنجایی که این لامپها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند و آن را حفظ میکنند، مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین، زمان استفاده طولانی از این لامپها، نیاز به ذخیره قطعات یدکی و هزینههای مربوط به تعمیرات را کاهش میدهد. در نوودارهای پیشرفته، ترکیبی از عدم وجود ازن، کاهش تولید ذرات، و کنترل دقیق دما، از ویفر و محیط اطراف آن محافظت میکند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ این لامپها با رابطهای استاندارد تجهیزات نیمههادی سازگار هستند؛ اما مسیر انتقال گرما اهمیت زیادی دارد. هنگام نصب، باید به تخلیه گرما توسط تجهیزات و مسیرهای جریان هوا توجه کرد؛ در صورتی که طراحی سیستم خنککننده مناسب نباشد، پایداری بلندمدت لامپها مختل خواهد شد.
باید یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا مطمئن شوید که دمای مورد نظر، مطابق با الگوی حرکت ویفر است. پس از اینکه این تنظیمات انجام شد، فرآیند تولید قابل پیشبینی خواهد بود.