Arrêtez de laisser vos éléments chauffants détruire vos wafers
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez bien ce cauchemar : un minuscule fragment de matériau – que l’on ne peut même pas voir – se pose sur un wafer, et soudainement toute la série de wafers devient inutilisable. C’est frustrant, c’est coûteux, et cela est généralement dû à la dégazation ou à l’émission de particules par les éléments chauffants.
Nous avons décidé de résoudre ce problème en utilisant du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes IR.
Pourquoi le quartz est important
En réalité, le verre standard ou le quartz bon marché ne peuvent pas supporter la chaleur ambiante dans un environnement de semi-conducteurs. Lorsque les températures montent, ces impuretés se décomposent. On voit alors la lampe « fumer » ou émettre des particules, dès que la température augmente.
Notre silice fusionnée est différente : nous maintenons les impuretés métalliques à un niveau très bas, ce qui permet à la lampe de rester propre. De plus, elle est chimiquement inerte : elle ne réagit pas aux gaz utilisés dans l’installation.
Faire arriver la chaleur là où c’est nécessaire
Il faut que le wafer soit chaud, et rapidement. Mais on ne veut pas chauffer l’air autour de lui.
Nos lampes utilisent des rayonnements à ondes courtes. Ils atteignent directement la surface du wafer. C’est important, car cela réduit les courants de convection qui provoquent l’envol des particules vers le produit.
Vous pouvez choisir ces lampes en fonction de votre puissance et de votre tension électrique nécessaires. En optant pour une densité de puissance élevée, vous gagnez beaucoup d’espace dans la chambre. Attention cependant : fournir autant de puissance à travers un tube court génère beaucoup de chaleur. Assurez-vous que vos systèmes de refroidissement sont suffisamment efficaces, sinon vos connecteurs risquent d’être endommagés.
Remplacement facile, moins de stress
Personne n’aime passer des heures en entretien. Nous proposons plusieurs options de capuchons pour assurer un serrage hermétique, ce qui est la seule façon d’éviter les fuites de vide dans la chambre.
Lorsqu’une lampe tombe en panne, il suffit de la remplacer par une nouvelle. Pas besoin de rebrancher tout le système ou de passer toute la journée à nettoyer la zone concernée. C’est rapide, propre, et vous pouvez reprendre le travail sans avoir à craindre l’introduction de nouveaux contaminants lors du remplacement.