Délais de traitement : pourquoi les chauffages infrarouges sont supérieurs aux systèmes à air chaud en environnement sous vide
Si vous travaillez dans le domaine du traitement avancé des semi-conducteurs, vous savez que le principal problème est le temps nécessaire pour effectuer les traitements. La plupart des gens commencent par utiliser des systèmes à air chaud. Cela fonctionne, mais c’est lent. En réalité, on chauffe simplement l’air, dans l’espoir que celui-ci réchauffe la puce. Mais voici le problème : en environnement sous vide, il n’y a plus d’air. On perd donc ce “médiateur” entre le chauffage et la puce. C’est là que les chauffages infrarouges adaptés aux environnements sous vide entrent en jeu. Au lieu de dépendre d’un médium, ils transmettent directement l’énergie sur la puce. C’est beaucoup plus efficace.
Arrêtez d’attendre que le four se réchauffe
Les systèmes à air chaud ont une grande inertie thermique. En d’autres termes, ils sont lents. Il faut d’abord chauffer les parois de la chambre ainsi que tout l’air présent à l’intérieur avant que la pièce de travail ne commence à se réchauffer. C’est un vrai goulot d’étranglement. Les lampes infrarouges, quant à elles, atteignent la température souhaitée en quelques secondes seulement. Comme la transmission de chaleur est directe, il n’y a pas besoin d’attendre que le système se réchauffe ou se refroidisse. Le temps de traitement passe ainsi de minutes à secondes. C’est vraiment rapide. Et cela change complètement le rythme de travail.
Les défis liés à l’intégrité sous vide
Il ne suffit pas de mettre n’importe quel chauffage dans cet environnement. Les chauffages standard ont tendance à libérer des gaz. En environnement sous vide, même une petite quantité de lubrifiant ou de composés organiques présents sur le chauffage peut contaminer la puce. C’est un vrai cauchemar. Pour éviter cela, nous utilisons des enveloppes en quartz et des électrodes spécialement conçues pour fonctionner en environnement sous vide. Cela permet d’éviter toute fuite et toute contamination. Il faut aussi garder à l’esprit la densité de puissance : les lampes infrarouges à haute puissance génèrent beaucoup de chaleur en très peu d’espace. Si la ventilation de la chambre n’est pas suffisante, la chaleur rayonnante peut endommager les joints de la chambre. Vérifiez bien les spécifications avant d’allumer le dispositif.
Plus de puces traitées par heure
Le vrai avantage ici, c’est le contrôle précis du processus. Avec les chauffages infrarouges, on peut générer rapidement une impulsion de chaleur, effectuer le traitement, puis arrêter immédiatement le processus. Il n’est plus nécessaire d’attendre que le grand four se refroidisse. Pour les ingénieurs, cela signifie qu’ils peuvent traiter beaucoup plus de puces par heure. En remplaçant le simple soufflet d’air par un contrôleur de puissance précis et une lampe hermétique, on augmente considérablement la vitesse de traitement.