फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, आधे डिग्री का भी थर्मल विचलन महत्वपूर्ण मापदंडों को बिगाड़ सकता है, जिससे पूरा उत्पादन बर्बाद हो सकता है। हमने लैंप के लिए SCR पावर रेगुलेटर बनाया है, ताकि ऐसा विचलन स्रोत पर ही रोका जा सके; इससे लैंप का आउटपुट निर्धारित मानों के अनुसार ही रहता है – न कि लाइन वोल्टेज के अनुसार।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह एक क्लोज्ड-लूप SCR कंट्रोलर है, जो हैलोजन, क्वार्ट्ज, शॉर्ट-वेव, मीडियम-वेव एवं कार्बन-फाइबर NIR स्रोतों के लिए उपयुक्त है। बेकिंग प्लेट पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर; विभिन्न चरणों में भी तापमान स्थिर रहता है – ±0.2°C के भीतर। आउटपुट, सेटपॉइंट के 0.1% के भीतर ही रहता है; सेटपॉइंट में परिवर्तन होने पर प्रतिक्रिया समय 10 मिलीसेकंड से कम ही होता है। यह उपकरण क्लास 1–100 क्लीनरूमों में उपयोग हेतु बनाया गया है – थर्मल स्टैक से कोई कण नहीं उत्पन्न होता, एवं EMI-सुरक्षा व्यवस्था भी है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में, थर्मल बजट बहुत ही महत्वपूर्ण है। SCR रेगुलेटर की मदद से लैंप की ऊर्जा स्थिर रहती है, जिससे हर बार वांछित परिणाम प्राप्त होता है। इससे पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, पहली बार ही उच्च गुणवत्ता वाला उत्पाद प्राप्त होता है, एवं विभिन्न वेफरों/उत्पादों में तापमान स्थिर रहता है।
इसके अलावा, लैंप को अतिरिक्त ऊर्जा देने की आवश्यकता नहीं होती, जिससे ऊर्जा की बचत होती है; एवं स्थिर ड्राइव स्थितियों में लैंप की आयु भी बढ़ जाती है।
व्यावहारिक विवरण:
ड्राइवर को ठंडी शुरुआत में ही लैंप के प्रतिरोध के अनुरूप होना आवश्यक है; अन्यथा लैंप में अत्यधिक धारा बह सकती है, जिससे सुरक्षा व्यवस्था सक्रिय हो जाएगी। इंस्टॉलेशन हेतु एक विशेष, कम-शोर वाली कंट्रोल लाइन की आवश्यकता है; थर्मल इंटरफ़ेस भी स्वच्छ एवं समतल होना आवश्यक है, ताकि तापमान स्थिर रह सके।
अपने विशिष्ट लैंप/प्लेट के लिए PID सेटिंग्स को ठीक करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।