शार्ड्स को रोकें: लैंपों की खराबी से अपने सिलिकॉन वेफरों को सुरक्षित रखें
उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन होने वाले कारखानों में, इन्फ्रारेड लैंपों की खराबी एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में न केवल मशीनें कुछ घंटों के लिए बंद रह जाती हैं, बल्कि यह स्थिति बहुत ही खतरनाक होती है।
कल्पना कीजिए कि काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट सीधे आपके सिलिकॉन वेफरों पर गिर रहे हैं… ऐसी स्थिति में वेफरों पर दूषितता फैल जाती है। हम अपने हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि ऐसी स्थिति कभी न आए।
लैंप क्यों खराब हो जाते हैं?
आमतौर पर, ऐसा थर्मल शॉक या किसी हॉटस्पॉट के कारण होता है। इस समस्या से निपटने हेतु, हम उच्च शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसा क्वार्ट्ज तेज़ गर्मी/ठंड को सह सकता है।
लेकिन वास्तविक रहस्य तो टंगस्टन फिलामेंट को सही स्थान पर रखने में ही है… हम उस फिलामेंट को 0.1 मिमी से कम की त्रुटि के साथ ही रखते हैं… क्योंकि अगर वह फिलामेंट ट्यूब की दीवार को छू जाता है, तो हॉटस्पॉट बन जाता है… जिससे क्वार्ट्ज नरम हो जाता है, दबाव बढ़ जाता है… और फिर लैंप खराब हो जाता है।
“सुरक्षा उपाय”
हम केवल काँच पर ही भरोसा नहीं करते… हमने एक अतिरिक्त सुरक्षा उपकरण भी जोड़ा… यह वास्तव में एक उच्च तापमान वाला स्लीव है, जो लैंप को घेरे रहता है… इसे एक “बीमा पॉलिसी” के रूप में ही समझें… अगर लैंप खराब हो जाता है, तो यह स्लीव सब कुछ संभाल लेता है… ऐसे में मलबा वेफरों पर नहीं गिरता।
हमने कनेक्टरों पर भी ध्यान दिया… टर्मिनलों में खराब संपर्क के कारण गर्मी पैदा होती है… जिससे क्वार्ट्ज टूट जाता है… हमने ऐसे कनेक्टरों को बदल दिया… ताकि आपको टर्मिनलों की खराबी की चिंता ही न करनी पड़े।
वास्तविक समझौता
लेकिन एक समस्या तो है ही… लैंप के चारों ओर सुरक्षा उपकरण लगाने से इन्फ्रारेड ऊष्मा में कुछ कमी आ जाती है… ऐसी स्थिति में ऊष्मा घनत्व में 5-10% की कमी हो जाती है…
इस समस्या को दूर करने हेतु, आपको बस पावर सप्लाई की वोल्टेज बढ़ानी होगी… या वेफरों को थोड़ा अधिक समय तक गर्म रखना होगा…
यह तो एक छोटा सा समाधान ही है… लेकिन वास्तव में, यह तो एक लैंप की खराबी के कारण पूरे बैच के वेफरों को नष्ट करने से बेहतर ही है।