सूखने की प्रक्रिया के दौरान अपने MEMS वेफरों को साफ रखना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम करते हैं, तो आपको इस समस्या का अंदाजा होगा – हीटर से निकलने वाला एक छोटा सा कण भी आपके सभी वेफरों को बेकार बना सकता है। यह बहुत ही निराशाजनक है। इसीलिए हम उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज आईआर लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
अधिकांश हीटिंग तत्वों से समय के साथ गैसें निकलने लगती हैं, या वे टूटने लगते हैं। लेकिन क्वार्ट्ज ट्यूबें ऐसा नहीं करतीं। ये वेफरों पर तेज ऊष्मा पहुँचाती हैं, लेकिन इस दौरान कोई धात्विक कचरा नहीं बचता।
क्वार्ट्ज क्यों कारगर है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह लॉन्ग-वेव ऊष्मा की तुलना में वेफर की सतह पर मौजूद नमी को तेजी से हटा देता है।
चूँकि क्वार्ट्ज बहुत ही शुद्ध होता है, इसलिए आपको आयनों के वेफरों पर पहुँचने की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है। इसके अलावा, क्वार्ट्ज ट्यूबें एक अच्छा “सील” का काम करती हैं… जिससे टंगस्टन फिलामेंट क्लीनरूम की हवा से अलग रहता है। हम सस्ते काँच का उपयोग नहीं करते… क्योंकि वह ऐसे तनावों को सहन नहीं कर पाता… और जल्द ही टूट जाता है।
छोटे स्थान में भी अधिक ऊष्मा प्रदान करना
ये लैंप प्रति इंच पर बहुत अधिक वाट ऊर्जा प्रदान करते हैं… इसका फायदा यह है कि आप अपने हीटर का आकार छोटा रख सकते हैं… फिर भी वेफरों को तुरंत सूखाने हेतु पर्याप्त ऊष्मा प्राप्त होती है। ये लैंप आपके मौजूदा PID कंट्रोलरों के साथ भी अच्छी तरह काम करते हैं… इससे तापमान ठीक वैसा ही रहता है, जैसा आप चाहते हैं।
एक बात ध्यान में रखें…
चूँकि इन लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा निकलती है… इसलिए लैंप की सतह बहुत जल्दी गर्म हो जाती है। यदि आपका हाउजिंग उच्च तापमान वाली हवा को सहन नहीं कर पाता, तो आपका हीटर टूट सकता है… या ओवरहीट सेंसर लगातार सक्रिय हो सकते हैं। सेटअप के दौरान इस बात पर ध्यान देना आवश्यक है।
वास्तविक दुनिया में सूखाने की प्रक्रिया
हमने इन लैंपों को स्वचालित वेफर हैंडलिंग सिस्टमों के लिए डिज़ाइन किया है… ये वेफर की पूरी सतह को समान रूप से गर्म करते हैं… इससे कोई “कोल्ड स्पॉट” नहीं बनता… और न ही कोई अवांछित दाग/अवशेष रहता है।
और सबसे अच्छी बात यह है कि वेफर पर कोई जबरदस्ती हवा नहीं लगती… इसलिए आपको किनारों से उड़ने वाले कणों की समस्या से भी निपटने की आवश्यकता नहीं है… आपको बस एक साफ सतह एवं स्वच्छ वेफर ही मिलता है।