乾燥処理中にMEMSウェーハを常に清潔に保つために
クラス100のクリーンルームで作業している人なら、その悩みはよくわかるでしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけで、大量のウェーハが使えなくなってしまいます。本当にイライラしますよね。だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しているのです。
ほとんどの加熱要素は時間が経つとガスを放出したり、剥離したりします。しかし、この石英管はそういうことはありません。ウェーハに急速に熱を与えて瞬時に乾燥させることができますが、金属片などは一切残りません。
石英が効果的な理由
私たちが短波長の赤外線を使用するのには理由があります。短波長の赤外線は、長波長の熱に比べて、ウェーハ表面の水分をはるかに速く除去できます。また、石英は非常に純度が高いため、イオンがMEMSセンサーに移動する心配もありません。さらに、石英の外殻が密閉性を保つため、タングステンフィラメントがクリーンルームの空気に触れることもありません。安価なガラスは耐久性が低く、急速な温度変化に耐えられないため、使用できません。
小さなスペースでも十分な効果
これらのランプは、1インチあたり多くのワット数を発揮します。そのおかげで、十分な熱を得ながらも、ヒーターのサイズを小さくできます。また、既存のPIDコントローラーとも良好に連携し、温度を正確に制御できます。
ただし、注意点もあります。熱密度が非常に高いため、ランプの表面が急速に熱くなります。もし筐体が高温の空気に耐えられない場合、筐体が変形したり、過熱センサーが作動したりする可能性があります。設置時にはこの点にも注意が必要です。
実際の乾燥処理
これらのランプは、自動ウェーハ処理システムの代替品として設計されています。ウェーハ全体に均等に熱を与えるため、「冷たい部分」や水滴や残留物が残ることはありません。
そして最も良い点は、ウェーハに強制的に熱風が当たることがないということです。通常、端から粒子が舞い上がるような乱流の心配もありません。その結果、ウェーハの表面が完全に乾燥し、清潔になります。