MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

乾燥処理中にMEMSウェーハを常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームで作業している人なら、その悩みはよくわかるでしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけで、大量のウェーハが使えなくなってしまいます。本当にイライラしますよね。だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用してい...