ヒーター要素によってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。見えないほど微小な汚れがウェーハに付着するだけで、一括して廃棄せざるを得なくなります。これは非常に厄介で、コストもかさみます。通常、この問題はヒーター要素からのガス放出や粒子の飛散が原因です。
私たちは、高純度の合成石英をIRランプに使用することで、この問題を解決しようとしました。
なぜ石英が重要なのか
実際、一般的なガラスや安価な石英では、半導体環境での高温に耐えられません。温度が上がると、そうした不純物が分解されてしまいます。その結果、ランプから煙が出たり、粒子が飛び出したりします。
一方、私たちが使用する融結シリカは異なります。金属不純物を極限まで低減することで、ランプが清潔な状態を維持できます。また、化学的にも安定しており、どんな処理用ガスが流れてきても反応しません。
必要な場所に正確に熱を送る
ウェーハを素早く加熱する必要がありますが、周囲の空気を温めたくはありません。
私たちのランプは短波放射を利用しています。これにより、ウェーハ表面に直接熱が当たります。これは、床にあるほこりが舞い上がったり、粒子が製品に飛んでいったりするのを防ぐのに役立ちます。
必要なワット数や電圧に合わせてランプを選択できます。高ワット数のランプを使用すれば、チャンバー内のスペースを節約できます。ただし、短い管を通じて大量の電力を送ると、多くの熱が発生します。冷却装置が十分に機能しているか確認してください。そうでなければ、コネクタが壊れてしまいます。
簡単に交換でき、ストレスも少ない
誰も、何時間もメンテナンスに時間を費やしたくはありません。私たちは、チャンバー内の真空漏れを防ぐために、様々なエンドキャップオプションを提供しています。
ランプが故障した場合は、簡単に取り外して新しいランプを取り付けるだけです。ラック全体を再接続したり、何日もその部分を掃除したりする必要はありません。迅速で、清潔です。また、交換時に新たな汚染物質が混入する心配もありません。