無駄なエネルギーの消費をやめましょう：なぜ金製の反射板が重要なのか ウェハー製造においては、1ワットも無駄にしてはいけません。もし通常の赤外線エミッターを使っている場合、問題があります。それは、エネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうからです。しかし、ウェハーは片側にしかありません。適切な反射板...

装置の壁面で熱が無駄になるのを止めましょう シリコンウェーハを加熱するには、莫大なエネルギーが必要です。しかし問題は、ほとんどの赤外線ランプがその熱をあらゆる方向に放出してしまうことです。これは明らかな無駄遣いです。 ランプから360度に光が放出されると、高価な機器の内壁がその余分なエネルギーを吸...

リソグラフィフロアでは手順はおなじみだろう。フォトレジストのベーク時に1℃の変動があれば、ロット全体が廃棄になることもある。熱制御はセットポイントのように安定して動作しなければならず、予測不能な要素になってはいけない。だからこそ、歩留まりが繰り返し性にかかっている半導体グレードの加熱用にアルミ製...