클래스 100급 청정실에서 IR 가열 장치를 사용할 때는 반드시 그 장치를 깨끗하게 유지해야 합니다. 가열 요소에서 조금이라도 이물질이 떨어지면 전체 생산 라인에 치명적인 영향을 미칩니다.
반도체 제조 공장에서는 일반적인 IR 램프를 사용하지 않습니다. 왜냐하면 고온 상태에서 이 램프들은 손상되어 미세한 입자들을 방출하기 때문입니다. 이러한 입자들은 원치 않는 곳으로 날아가 버립니다.
비결은 석영에 있습니다. 그래서 저희는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 일반 유리는 충분히 깨끗하지 않으며, 열이 가해지면 불순물들이 기체로 변합니다. 저희의 석영 보호대는 마치 작업물의 경호원과 같은 역할을 합니다. 텅스텐 필라멘트가 공기와 반응하지 않도록 막아주어, 금속 가루가 웨이퍼에 닿지 않도록 해줍니다.
석영이 효과적인 이유 석영은 고온에도 변형되거나 균열이 생기지 않습니다. 게다가 단파 적외선도 그대로 통과시켜 줍니다. 그래서 열은 정확히 필요한 곳으로 전달되고, 보호대 안에 갇히는 일이 없습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 석영은 화학적으로는 안정적이지만, 표면에 먼지가 쉽게 달라붙습니다. 기술자가 맨손으로 유리를 만지면, 피부의 기름이 표면에 남게 됩니다. 이로 인해 “핫 스팟”이 생겨서 램프가 예상보다 빨리 고장날 수 있습니다. 꼭 먼지 없는 장갑을 사용하세요.
공장에 설치하는 방법 저희는 이 보호대를 기존 램프 대신 간편하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 허용 오차를 최소화하여 정확하게 맞도록 했습니다. 이는 안정성을 위해서뿐만 아니라, 작업 공간 내의 공기 흐름으로 인한 먼지 발생을 막기 위해서도 중요합니다.
마지막으로, 전원 공급 장치에도 주의해야 합니다. 전압이 급격히 변하면 필라멘트가 깜빡일 수 있습니다. 이로 인해 작업물에 고르지 않은 열이 가해져 문제가 생길 수 있습니다.