웨이퍼에 정확한 열을 가하는 방법
클린룸에서 적외선 램프를 사용할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 웨이퍼에 정확한 열을 가해야 하지만, 에너지를 낭비하거나 주변 환경을 망치서는 안 됩니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 이 방법을 통해 비용을 들여 얻은 전기 에너지가 실제로 웨이퍼에 열로 전달되도록 할 수 있습니다. 그렇게 되면 방 전체가 따뜻해지는 것을 막을 수 있습니다.
왜 금을 사용할까요?
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 문제는 알루미늄이 적외선 에너지를 너무 많이 흡수한다는 점입니다. 그래서 열이 그대로 소실됩니다.
우리는 고순도 금을 사용하는데, 그 이유는 금이 근적외선 광자를 웨이퍼 쪽으로 다시 반사시키는 능력이 훌륭하기 때문입니다. 그 결과 열이 램프 본체에 스며드는 대신 웨이퍼에 집중됩니다. 그래서 목표 온도에 도달하는 시간이 줄어들고, 유지하는 데 필요한 에너지도 줄어듭니다. 그냥 더 효과적인 방법입니다.
열 부하 문제
와트 수치는 중요하지만, 반사체의 형태가 더 중요합니다.
우리는 포물선이나 타원형의 곡선을 사용하여 에너지를 한 지점에 집중시킵니다. 이 방법을 통해 램프를 작은 크기로 만들 수 있어, 벤치 위에 설치하기에 적합합니다. 하지만 단점도 있습니다. 너무 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키면 램프의 끝부분이 매우 뜨거워집니다.
배선을 꼭 확인해보세요. 커넥터가 충분한 전류를 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 단자가 손상될 수 있습니다.
타협점
금이 최고의 선택인 이유가 있지만, 관리가 조금 까다롭습니다.
이러한 표면들은 매우 민감합니다. 클린룸의 규칙을 지키지 않아 기름이나 먼지가 금 코팅 위에 묻으면 반사율이 떨어집니다. 그리고 강한 용매를 사용해 닦으면 코팅이 벗겨질 수 있습니다.
우리는 모든 와트당 최대한의 열 에너지를 얻으려고 노력합니다. 그렇게 하면 전원 공급 장치에 가해지는 부담이 줄어들고, 냉각 팬이 제 역할을 한다면 벤치가 오븐처럼 뜨거워지는 것을 막을 수 있습니다.