난방 요소가 웨이퍼를 망치는 것을 막아야 합니다.
클래스 100 수준의 청정실을 운영한다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 조각이 웨이퍼 위에 떨어지기만 해도, 전체 제품이 폐기됩니다. 이는 매우 짜증나는 상황이며, 비용도 많이 듭니다. 대체로 이 문제는 난방 요소에서 발생하는 가스나 먼지 때문입니다.
우리는 고순도의 합성 석영을 사용하여 이 문제를 해결하기로 했습니다.
왜 석영이 중요한가?
일반적인 유리나 저가형 석영은 반도체 환경에서 발생하는 높은 온도를 견딜 수 없습니다. 온도가 높아지면 그러한 불순물들이 분해됩니다. 그 결과, 램프에서 연기가 나거나 입자들이 떨어져 나오게 됩니다.
하지만 우리가 사용하는 융합 실리카는 다릅니다. 금속성 불순물을 극도로 줄여서 램프가 깨끗하게 유지됩니다. 게다가 화학적으로도 안정적이어서, 어떤 가스를 사용하든 반응하지 않습니다.
원하는 위치에 정확히 열을 전달하기
웨이퍼를 빠르고 효과적으로 가열해야 합니다. 하지만 주변 공기까지 함께 가열되는 것은 원하지 않습니다.
우리의 램프는 단파 방사선을 사용합니다. 이 방사선은 웨이퍼 표면에 직접 닿아서, 바닥에 있는 먼지가 웨이퍼 쪽으로 날아오는 것을 막아줍니다.
원하는 와트수와 전압에 맞게 램프를 선택할 수 있습니다. 고출력 램프를 사용하면 챔버 내부의 공간을 절약할 수 있습니다. 하지만 주의해야 할 점은, 짧은 관을 통해 그런 큰 전력을 보내면 열이 많이 발생한다는 것입니다. 따라서 쿨링 시스템이 충분히 강력해야 합니다. 그렇지 않으면 커넥터가 손상될 수 있습니다.
간편한 교체, 스트레스 줄임
아무도 몇 시간 동안 유지보수 작업을 하는 것을 좋아하지 않습니다. 우리는 밀폐 상태를 유지할 수 있도록 여러 가지 엔드캡 옵션을 제공합니다. 이것이야말로 챔버 내부의 진공 누출을 막는 유일한 방법입니다.
램프가 고장나면 그냥 꺼내고 새 램프를 넣으면 됩니다. 전체 랙을 다시 연결하거나 며칠 동안 해당 부분을 청소할 필요가 없습니다. 빠르고 깨끗하게 처리됩니다. 또한, 교체할 때 새로운 오염물질이 들어가는 문제도 없습니다.