왜 골드 코팅된 반사체가 중요한가? 웨이퍼 제조 과정에서는 에너지의 절약이 매우 중요합니다. 일반적인 적외선 방출기를 사용한다면 문제가 생깁니다. 왜냐하면 그런 방출기는 에너지를 모든 방향으로 방출하기 때문입니다. 하지만 웨이퍼는 한쪽 면에만 위치해 있습니다. 제대로...

장비의 벽면에 열이 낭비되는 것을 막아야 합니다. 실리콘 웨이퍼를 가열하는 데에는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 하지만 문제는, 대부분의 적외선 램프들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 이는 명백한 낭비입니다. 램프가 360도로 열을 방출하게 되면, 값비싼...

리소그래피 플로어에서 당신은 그 절차를 잘 알고 있습니다. 포토레지스트 베이크 과정에서 1°C의 온도 변화는 전체 로트를 폐기할 만큼 충분합니다. 열 제어는 무작위 카드가 아니라 세트포인트처럼 작동해야 합니다. 그렇기 때문에 우리는 반도체급 가열을 위한 알루미늄 IR...