왜 골드 코팅된 반사체가 중요한가?
웨이퍼 제조 과정에서는 에너지의 절약이 매우 중요합니다. 일반적인 적외선 방출기를 사용한다면 문제가 생깁니다. 왜냐하면 그런 방출기는 에너지를 모든 방향으로 방출하기 때문입니다. 하지만 웨이퍼는 한쪽 면에만 위치해 있습니다. 제대로 된 반사체와 밀폐된 구조가 없다면, 기계 자체가 가열되고, 제품은 제대로 가열되지 않습니다. 이는 에너지 낭비일 뿐입니다.
그래서 우리는 골드 코팅된 반사체를 사용합니다. 이는 낭비되는 에너지를 다시 목표물로 보내주는 간단한 해결책입니다.
왜 골드인가?
물론 알루미늄도 더 저렴하지만, 알루미늄은 산화되어 성능이 떨어집니다. 반면 골드는 그렇지 않습니다. 그래서 골드는 적외선 반사율 측면에서 최고의 재료입니다. 고순도 금을 반사체에 코팅함으로써, 입력된 전력의 거의 모든 부분이 열로 전환됩니다. 그 결과 웨이퍼에 더 집중된 열이 발생하므로, 목표 온도에 도달하기 위해 더 높은 전력을 사용할 필요가 없습니다. 훨씬 효율적입니다.
잘 알려지지 않은 ‘영웅’: 세라믹 엔드캡
고급스러운 골드 코팅된 반사체라도, 방출기에 문제가 생기거나 연결 부위에 문제가 생기면 아무 소용이 없습니다. 바로 여기서 세라믹 엔드캡이 필요합니다. 세라믹 엔드캡은 반복적인 팽창과 수축에도 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 세라믹 엔드캡은 석영관을 정확한 위치에 유지해 줍니다. 만약 정렬이 몇 밀리미터만 틀어져도, 열 분포가 불균형해져 웨이퍼의 품질이 나빠집니다. 결코 좋은 결과가 아닙니다.
알아야 할 타협점
문제는, 이렇게 많은 에너지를 집중시키면 장치가 매우 뜨거워진다는 것입니다. 적외선 에너지가 너무 집중되어 방출기 자체도 평소보다 훨씬 더 뜨거워집니다. 이런 상황을 그냥 무시할 수는 없습니다. 반드시 쿨링 팬이나 물방식의 냉각 시스템이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 쿨링이 제대로 되지 않으면, 에너지 효율성을 위해 램프의 수명을 단축시키는 꼴이 됩니다. 쿨링 시스템을 제대로 조절하고, 연결도 제대로 해주면, 매번 정확하고 강력한 열을 얻을 수 있습니다.