먼지로 인해 진공 가열 장치가 망가지는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실이나 고진공 챔버에서 무언가를 가열할 때는 이미 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 단순히 열만 필요한 것이 아니라, 그 열도 ‘깨끗한’ 상태여야 합니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에서는 문제가 됩니다. 이러한 요소들은 가스를 방출하거나 미세한 입자들을 만들어내는데, 이들은 웨이퍼나 광학 코팅 위에 남게 됩니다. 정말 짜증나는 일입니다. 작은 먼지 한 점만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
가스 방출 문제
우리는 불순물 함량이 극도로 낮은 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 저품질의 유리는 ‘연소 현상’을 일으키기 때문입니다. 저렴한 램프를 사용해본 적이 있다면, 처음 몇 시간 동안 휘발성 유기화합물이나 금속 산화물이 방출된다는 것을 알 것입니다.
하지만 우리의 석영은 그런 현상을 보이지 않습니다. 따라서 진공 상태를 유지할 수 있습니다. 게다가, 온도를 빠르게 변화시켜도 압력으로 인해 깨지지 않습니다.
진공 환경 문제
진공 상태에서는 대류에 의한 냉각이 불가능합니다. 모든 것은 복사에 의해 이루어집니다.
우리는 램프가 필요한 곳에 높은 전력 밀도를 제공하도록 설계했습니다. 이렇게 하면 주변의 챔버 벽이 열을 흡수하는 것을 막을 수 있습니다. 한 가지 주의할 점은, 물 냉각 장치가 램프의 전력을 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 진공 상태가 깨질 수 있으며, 이는 원치 않는 결과입니다.
청정실에 적합하도록 설계됨
우리는 불필요한 요소들을 모두 제거했습니다. 접착제나 다공성 코팅 같은 것들은 전혀 사용하지 않았습니다. 램프의 디자인도 최적화되어 있어서 공간을 덜 차지하며 청소도 훨씬 쉽습니다. 또한, 특수한 커넥터를 사용하여 모든 부분이 기밀을 유지하도록 했습니다. 그래서 챔버 안으로 공기가 유입되는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
마지막으로, 기존 장비에 이 램프를 장착할 때는 반드시 전력 공급 장치를 확인해야 합니다. 고출력 석영 램프는 시작할 때 많은 전류를 소비합니다. 전선이 그러한 부하를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전압이 떨어져서 램프의 가열이 고르지 않아질 수 있습니다. 이는 바람직하지 않습니다.