Op de lithofabrieksvloer wordt de polyimide afgekoeld met behulp van een infraroodlamp. Hierdoor kan de thermische energie worden gereguleerd, zodat de dikte van de laag precies kan worden bepaald. Een kleine afwijking in temperatuur leidt tot oneffenheden aan de zijkanten van de laag. Een ‘hot spot’ resulteert in een verhoogde concentratie deeltjes op het wafer. De afkoelingsstap moet herhaalbaar, nauwkeurig en snel zijn – voor elke batch.
Wat er echt toe doet We hebben deze polyimide-afkoelingssysteem ontworpen rondom een infraroodlamp, waarvan de NIR-respons is aangepast op de absorptie van polyimide. De energie komt waar het nodig is, zonder dat het substraat wordt beschadigd. Hierdoor blijft de temperatuur over het hele oppervlak van het wafer binnen ±0,1°C. Bovendien blijft de temperatuur stabiel, zelfs na meerdere batches. De lamp is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De gebruikte materialen en sluitingen zorgen ervoor dat er geen deeltjes worden geproduceerd. In de productieresultaten zie je dit terug in minder fouten, een betere consistentie van de laagdiktes en een voorspelbare opbrengst.
Waarom het past in het proces De zachte en harde afkoeling van polyimide vindt plaats in het midden van het proces voor het bereiden van fotoresist. Onze lamp vormt een geschikte vervanging voor bestaande apparaten. Hierdoor blijft hetzelfde procesproces behouden, maar kan de afkoeling sneller plaatsvinden. Ook wordt er minder energie verbruikt per batch, en heeft de lamp een langere levensduur. Dit alles is gebaseerd op meer dan 5.000 uur stabiel functioneren, in overeenstemming met internationale standaarden. Voor processengineers betekent dit minder herwerkzaamheden, minder onderhoud en consistentie in de afkoelingsprocessen.
De praktische details Het instellen van het systeem is eenvoudig, maar de precisie vereist veel aandacht. De lamp moet precies op de juiste plek worden geplaatst, zodat de uniformiteit behouden blijft. Er is een korte inrichtingsperiode nodig om het afkoelingsproces te optimaliseren en de temperatuurverdeling te controleren. Eenmaal ingesteld, kan het worden beschouwd als een gestuurde variabele. Op deze manier kun je rekenen op herhalbare resultaten.