Polyimide hardening voor chipfabrieken
Op de afdeling voor lithografie is het harden van polyimide geen gewone verhittingsstap. Het is juist de temperatuur die bepaalt hoe betrouwbaar het...
Polyimide bakinfraroodlamp
Op de lithofabrieksvloer wordt de polyimide afgekoeld met behulp van een infraroodlamp. Hierdoor kan de thermische energie worden gereguleerd, zodat...