Czas cyklu obróbki: dlaczego promieniowanie podczerwone jest lepsze od gorącego powietrza w próżni
Jeśli pracujesz w obszarze zaawansowanej obróbki półprzewodników, wiesz, że największym problemem jest „koszt czasu”. Większość ludzi zaczyna od obiegu gorącego powietrza. To działa, ale jest wolne. W zasadzie ogrzewasz powietrze, a potem masz nadzieję, że to ono nagrzeje płytkę. Ale oto problem: gdy przechodzisz do środowiska próżniowego, nie ma już żadnego powietrza. Straciłeś pośrednika. Wtedy na scenę wchodzą grzejniki podczerwone (IR) kompatybilne z próżnią. Zamiast polegać na medium, IR bezpośrednio kieruje energię na podłoże. To strzał w cel.
Przestań czekać, aż piec się nagrzeje
Systemy z gorącym powietrzem mają dużą „inercję cieplną”. To po prostu elegancki sposób na określenie ich powolności. Musisz nagrzać ściany komory i całą objętość powietrza, zanim element roboczy w ogóle zacznie się nagrzewać. To ogromny wąskie gardło. Lampy IR są inne. Osiągają docelową temperaturę w sekundach. Ponieważ przenoszenie ciepła jest bezpośrednie, nie musisz się mierzyć z irytującymi opóźnieniami przy rozgrzewaniu i chłodzeniu. Przesuwasz proces z minut na sekundy. To szybko. Naprawdę szybko. I to zmienia wszystko w twoim procesie pracy.
Brudna strona integralności próżni
Teraz nie możesz po prostu wrzucić tam dowolnego grzejnika. Standardowe grzejniki mają tendencję do „wypuszczania gazów”. W środowisku wysokiej próżni nawet niewielka ilość smaru lub związków organicznych na grzejniku może przeniknąć i zanieczyścić twój krążek. To koszmar, którego nie chcesz mieć. Aby temu zapobiec, używamy osłon kwarcowych oraz specjalnej spawy odpornej na próżnię dla elektrod. To zapobiega wyciekom i brudowi. Jedna rzecz, o której należy pamiętać: gęstość mocy. Lampy IR o dużej mocy generują dużo ciepła w małej przestrzeni. Jeśli wyściółka chłodząca twojej komory nie jest wystarczająco dobra, ciepło promieniowane, które nie trafia na krążek, zacznie deformować uszczelki. Sprawdź specyfikacje, zanim włączysz urządzenie.
Więcej krążków na godzinę
Prawdziwym atutem jest tu możliwość kontrolowania procesu. Dzięki IR możesz uruchomić szybki impuls ciepła, wykonać proces i natychmiast ochłodzić element. Nie musisz siedzieć i czekać, aż ogromny piec się ostudzi. Dla inżynierów oznacza to znacznie więcej krążków na godzinę. W zasadzie eliminujesz ten nudny „czas namaczania”, który występuje przy obróbce konwekcyjnej. Zastępujesz prosty dmuchawa powietrza precyzyjnym kontrolerem mocy i lampą hermetycznie zamkniętą pod próżnią, a wtedy Twoja wydajność gwałtownie rośnie.