Как сохранить чистоту пластин MEMS во время сушки
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы знаете, каково это — когда из-за одной маленькой крошечки от нагревателя вся партия пластин становится бесполезной. Это раздражает. Поэтому мы используем инфракрасные лампы на основе синтетического кварца высокой чистоты.
Большинство нагревательных элементов со временем начинают выделять газы или трескецься. Но кварцевые трубки не имеют таких проблем. Они обеспечивают быстрое нагревание пластин, не оставляя при этом никаких металлических остатков.
Почему кварц эффективен
Мы выбираем коротковолновый инфракрасный свет по одной простой причине: он гораздо быстрее удаляет влагу с поверхности пластин по сравнению с длинноволновым теплом. Благодаря высокой чистоте кварца не возникает риска перемещения ионов на поверхность датчиков MEMS. Кроме того, кварцевая оболочка служит надежным уплотнителем, защищая вольфрамовую нить от воздуха в чистой комнате. Мы избегаем использования дешевого стекла — оно просто не выдерживает высоких температур и может треснуть уже при первых же циклах нагрева.
Высокая эффективность в компактном формате
Эти лампы выдают большое количество энергии на единицу площади. Это позволяет сделать конструкцию нагревателя меньше, при этом сохраняя достаточное количество тепла для мгновенного испарения жидкостей. Кроме того, они хорошо совместимы с существующими контроллерами PID, что позволяет точно контролировать температуру.
Однако есть один нюанс: из-за высокой плотности тепла поверхность лампы быстро нагревается. Если корпус лампы не предназначен для работы при высоких температурах, это может привести к деформации корпуса или активации датчиков перегрева. Следует обращать на это внимание во время настройки.
Реальное применение
Эти лампы предназначены для замены автоматических систем обработки пластин. Они равномерно нагревают всю поверхность пластины, что исключает наличие «холодных зон» и других загрязнений. Самое лучшее — что не происходит принудительного потока горячего воздуха над пластиной. Не нужно беспокоиться о турбулентности, которая может вызвать подъем частиц с краев пластины. Таким образом, поверхность пластины остается сухой и чистой.