Прекратите тратить энергию впустую на нагрев стенок оборудования
Для нагрева кремниевой пластины требуется огромное количество энергии. Но проблема в том, что большинство инфракрасных ламп рассеивают эту энергию во все стороны. Это является пустой тратой ресурсов. Когда лампы излучают свет во все 360 градусов, внутренние стенки дорогостоящего оборудования поглощают всю эту лишнюю энергию. В результате корпус оборудования становится слишком горячим на ощупь – это представляет проблему для операторов оборудования. Кроме того, системы охлаждения вынуждены работать с удвоенной нагрузкой, чтобы предотвратить перегрев оборудования.
Как направить тепло туда, где это необходимо
Мы придумали более эффективный способ. Вместо использования обычных кварцевых трубок, которые рассеивают тепло во все стороны, мы используем специальные отражатели и фильтры. Это похоже на замену обычной лампочки на фонарик – мы направляем импульсы инфракрасного излучения прямо на поверхность пластины. Таким образом мы избегаем попадания лишнего тепла на стенки камеры. Результат? Пластина получает необходимое количество тепла, а стенки остаются прохладными. Просто.
Технические особенности
Чтобы это сработало, необходимо точно контролировать длину волны излучения. Мы используем кратковолновое инфракрасное излучение, так как оно проникает в саму пластину, а не просто отражается от её поверхности, как это происходит с длинноволновым излучением. Но есть один недостаток: при концентрации излучения в одной точке возникает высокая интенсивность тепла. Если контроллер PID не настроен правильно, могут возникнуть «горячие точки». Необходимо найти оптимальный баланс между углом излучения и скоростью нагрева, чтобы избежать повреждения материала.
Почему это важно
Когда мы прекращаем борьбу с теплом в стенках камеры, все становится проще. Можно повысить производительность без необходимости покупки более мощных вентиляторов или систем охлаждения. Система термоуправления становится проще и меньше по размеру. К тому же это полезно с экономической точки зрения: сокращаются расходы на коммунальные услуги, а рабочее место становится более безопасным. Это просто логично.