На производственном полу даже небольшое изменение температуры в половину градуса может привести к смещению критических параметров и потере всей партии продукции. Мы разработали регулятор мощности типа SCR для лампы, чтобы свести к минимуму такие отклонения. Благодаря этому выходная мощность лампы соответствует заданным параметрам, а не напряжению в сети.
Что имеет значение с технической точки зрения: Это контроллер с замкнутым циклом управления, сочетаемый с приводом лампы, подходящим для галогенных, кварцевых, ультракоротковолновых, средневолновых и углеродно-волоконных источников НИР-излучения. Это обеспечивает тепловую однородность на поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а повторяемость результатов при серийном производстве — в пределах ±0,2°C. Выходная мощность остается на уровне 0,1% от заданного значения; время реакции на изменения параметров составляет менее 10 мс. Устройство предназначено для использования в чистых помещениях класса 1–100: не возникает никаких частиц из-за тепловых процессов, а конструкция устройства способствует снижению уровня ЭМИ, что помогает избежать повреждений при фотолитографии.
Процесс обработки фоторезиста — будь то мягкая или жесткая обработка, или обработка после экспозиции — напрямую зависит от температурных условий. Благодаря регулятору мощности типа SCR энергия лампы остается стабильной, что позволяет достигать заданных параметров каждый раз. Это приводит к снижению количества переработок, повышению процента готовой продукции с первой попытки, а также к стабильным температурным параметрам на всех пластинах и партиях продукции.
Кроме того, снижается потребление энергии, поскольку лампа не перегружается из-за колебаний напряжения, а её срок службы увеличивается благодаря стабильным условиям работы.
Вот ключевые технические детали: привод должен соответствовать кривой сопротивления лампы при холодном запуске; иначе может возникнуть скачок тока, что приведет к срабатыванию защитных устройств. Для установки требуется отдельный канал управления с низким уровнем шума, проходящий вдали от проводов с высоким током. Тепловой интерфейс также должен быть чистым и ровным, чтобы сохранять необходимую однородность.
Ожидается, что для настройки параметров PID для конкретной лампы и пластины потребуется небольшой промежуток времени на настройку.