
ในกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น คุณก็รู้ดีว่าอุณหภูมิของเตาอบมีความสำคัญมาก หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียงครึ่งองศาเดียว ก็จะทำให้ควบคุมขนาดของชิ้นส่วนไม่ได้อีกต่อไป และสุดท้ายก็ต้องทิ้งวาเฟอร์ที่ผลิตได้ไป
เราจึงสร้างเครื่องวัดความตึงผิวของวาเฟอร์ขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงก่อนที่จะเริ่มกระบวนการผลิต โดยเครื่องนี้จะช่วยให้อุณหภูมิบนพื้นผิววาเฟอร์อยู่ในระดับ ±0.1°C ตลอดเวลา แม้ว่าจะทำงานตลอด 24 ชั่วโมงก็ตาม
เครื่องนี้มีขนาดกะทัดรัดพอที่จะนำไปใช้ในสถานีวัดค่าต่างๆ ได้ นอกจากนี้ยังมีการออกแบบให้เหมาะสมกับห้องควบคุมคุณภาพ และวัสดุที่ใช้ก็มีความสามารถในการลดการปล่อยอนุภาคออกมาได้ดี การไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลยนั้นไม่ใช่เพียงข้ออ้างทางการตลาดเท่านั้น แต่เป็นผลมาจากการออกแบบที่ดี โดยมีระบบปิดผนึกที่ช่วยป้องกันไม่ให้อนุภาคหลุดออกมา
คุณจะเห็นได้จากข้อมูลที่บันทึกไว้ว่า ทุกครั้งที่มีการอบวาเฟอร์ อุณหภูมิจะอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้เสมอ ดังนั้นจึงสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ดี
แล้วนั่นหมายความว่าอย่างไรในทางปฏิบัติล่ะ? การอบวาเฟอร์จะมีความแม่นยำมากขึ้น ลดการต้องปรับแก้งาน และลดของเสียจากการอบวาเฟอร์ที่ไม่สมบูรณ์
นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องนี้สามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดอีกด้วย
ข้อควรระวังในการติดตั้งคือ เครื่องนี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่ออุปกรณ์ในห้องอบอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องภายใน 0.1 มม. และกระแสน้ำยาทำความเย็นก็ต้องเหมาะสมกับอัตราการทำงานด้วย คาดว่าจะต้องมีการทดสอบเพื่อปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมก่อนเริ่มการผลิตจริง
หลังจากนั้น กระบวนการผลิตก็จะอยู่ภายใต้การควบคุมได้อย่างดี