Lito zemin üzerinde, poliimidin pişirilmesi sırasında termal enerji, çizgi genişliğinin kontrol edilmesinde kullanılır. Birkaç derecelik bir sapma, yan duvarlarda eğriliklere neden olur. Sıcak noktalar ise wafer üzerinde parça sayısının artmasına yol açar. Pişirme işlemi, her parti için tekrarlanabilir, temiz ve hızlı olmalıdır.
Arka plandaki önemli faktörler Bu poliimid pişirme cihazını, poliimidin emilim özelliklerine uygun şekilde çalışan bir kızılötesi lamba üzerine kurduk. Enerji, filmin ihtiyaç duyduğu yere yönlendirilir; böylece substrat yanmaz. Bu sayede waferin yüzeyindeki sıcaklık sabit kalır ve ±0,1°C’lik bir hassasiyet sağlanır. Ayrıca, cihazın uzun süreli kullanımı için gerekli olan stabilite de sağlanmış olur. Cihaz, sınıf 1–100 temiz oda koşullarında çalışacak şekilde tasarlanmıştır; malzemeler ve conta elemanları, parça oluşumunu sıfıra indirmek için seçilmiştir. Üretimde bu durum, daha az hata, daha düzenli bir CD dağılımı ve öngörülebilir verimlilik anlamına gelir.
Neden bu cihaz süreç akışına uygundur? Poliimidin yumuşak ve sert pişirilmesi işlemleri, foto dirençli maddelerin termal işlemlerinin ortasında yer alır. Bizim lambamız, mevcut pişirme sistemlerine uyumlu ve SEMI standartlarına uygun bir çözümdür. Aynı işlem mantığı korunurken, daha hızlı ısınma, her parti başına daha düşük enerji tüketimi ve daha uzun cihaz ömrü elde edilir. 5.000 saatten fazla süre boyunca istikrarlı çalışma performansı, uluslararası ekipman standartlarına uygundur. Hat mühendisleri için bu durum, daha az yeniden işlem gerekliliği, daha az bakım gereksinimi ve her parti için tekrarlanabilir pişirme profilleri anlamına gelir.
Pratik detaylar Uygulama oldukça basittir; ancak hizalama toleransı oldukça düşüktür. Tekrarlanabilirlik sağlamak için lambanın belirli bir geometriye göre yerleştirilmesi gerekmektedir. Pişirme profilini belirlemek ve sıcaklık dağılımını kontrol etmek için kısa bir test süreci gereklidir. Bir kez ayarlandıktan sonra, bunu kontrollü bir süreç değişkeni olarak kabul etmek gerekir. Böylece termal tekrarlanabilirlik, aranan bir şey değil, garanti altına alınan bir özellik haline gelir.