Kırıkları Önleyin: Silikon waferlerinizi lamba arızalarından koruyun
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim tesislerinde, bir kızılötesi lambanın patlaması gerçekten korkunç bir durumdur. Burada mesele sadece makinenin birkaç saatliğine durması değil; aynı zamanda ortaya çıkan karmaşa da önemlidir. Cam parçalarının ve tungsten tellerinin silikon waferlerin üzerine düşmesini hayal edin… Küçük bir patlama bile büyük bir kirlilik sorununa yol açabilir. Biz de bu tür durumların yaşanmaması için özel ısıtıcılar tasarlıyoruz.
Lambaların neden patladığı
Genellikle bu durum termal şok veya aşırı ısınmadan kaynaklanır. Buna karşı koymak için, hızlı ısınma ve soğumaya dayanabilecek kalınlıkta yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Ancak asıl sır, tungsten telin yerleştirilme şeklinde yatıyor. Tungsten telin yerleşimi 0,1 mm’den daha az bir toleransla kontrol ediliyor. Neden mi? Çünkü eğer tel yerinden oynayıp tüp duvarına temas ederse, aşırı ısınma meydana gelir. Kuvars yumuşar, basınç artar ve işte o zaman sorun başlar.
“Güvenlik ağı” yaklaşımı
Sadece camın dayanıklılığına güvenmiyoruz. Lambanın etrafına ikinci bir koruma katmanı ekledik; bu da aslında lambayı saran yüksek sıcaklık direncine sahip bir kılıftır. Bunu bir sigorta poliçesi gibi düşünün. Eğer tüp arızalanırsa, kılıf tüm parçaları engeller. Böylece parçalar waferlerin üzerine düşmez. Ayrıca bağlantı noktalarına da dikkat ettik. Terminallerdeki kötü temaslar ısı oluşturur ve bu da kuvarsın zarar görmesine neden olur. Bunun yerine daha sağlam terminaller kullandık böylece uç kısımların arızalanmasından endişelenmenize gerek kalmaz.
Dürüstçe söylemek gerekirse…
Buradaki dezavantaj şu: Lambanın etrafına koruma katmanı eklemek, kızılötesi ısının bir kısmının engellenmesine neden olur. Bu da ısı yoğunluğunda %5-10’luk bir düşüşe yol açar. Bunu düzeltmek için güç kaynağının wattajını artırmanız veya waferlere biraz daha fazla süre tanımanız yeterlidir. Bu küçük bir ayarlama… Ama dürüst olmak gerekirse, tek bir lambanın arızalanması yüzünden tüm waferleri atmak yerine bu yöntem çok daha iyidir.