Isıtma elemanlarının waferlerinizi bozmasına izin vermeyin.
Eğer 100 sınıfı bir temiz oda kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar kötü olabileceğini zaten biliyorsunuzdur. Görülemeyecek kadar küçük bir parça malzeme bile waferin üzerine düştüğünde, tüm parti işe yaramaz hale gelir. Bu durum hem can sıkıcıdır hem de maliyetlidir. Genellikle bunun sebebi ısıtma elemanlarının gaz salması veya parçaların dökülmesidir.
Bunu çözmek için IR lambalarımızda yüksek saflıkta sentetik kuvars kullandık.
Kuvarsın neden önemli olduğu
Aslında standart cam veya ucuz kuvarslar, yarı iletken ortamındaki yüksek sıcaklıklara dayanamaz. Sıcaklık arttığında bu kirleticiler parçalanır ve lamba “duman çıkarmaya” başlar. Bizim kullanmış olduğumuz füzyonlu silika ise farklıdır. Metalik kirleticileri son derece düşük seviyede tutarak lambanın temiz kalmasını sağlarız. Ayrıca kimyasal olarak da inaktiftir; cihaza hangi işlem gazlarının pompalandığına aldırmaz ve reaksiyona girmez.
Isının tam da ihtiyaç duyulan yere gitmesi
Waferin hızlı bir şekilde ısınması gerekiyor. Ancak etrafındaki havanın da ısınmasını istemiyorsunuz. Lambalarımız kısa dalga radyasyonu kullanır; bu sayede ısı doğrudan wafer yüzeyine ulaşır. Bu çok önemlidir, çünkü böylece zemindeki tozların havaya karışmasını ve partiküllerin ürününüze ulaşmasını engeller.
İhtiyacınıza göre farklı güç ve voltaj seçenekleri sunulmaktadır. Yüksek güç yoğunluğu tercih ederseniz, odadaki yerden tasarruf edersiniz. Ancak dikkat edin: Bu kadar yüksek gücü kısa bir tüp aracılığıyla iletmek çok fazla ısı üretir. Soğutma sistemlerinizin bu yükü kaldırabileceğinden emin olun; aksi takdirde bağlantı noktalarınız zarar görebilir.
Kolay değiştirme, daha az stres
Kimse saatlerce bakım yapmak istemez. Sızıntıları önlemenin tek yolu olan sıkı bir kapama sağlamak için çeşitli uç kapak seçenekleri sunuyoruz. Bir lamba bozulduğunda, onu çıkarıp yerine yeni bir tane takmanız yeterlidir. Tüm devreyi yeniden kurmanıza veya alanı temizlemenize gerek yoktur. Hem hızlı hem de temiz bir çözümdür; ayrıca yeni kontaminantların oluşmasını da engeller.