На етапі літографії повторюваність процесу висушування фотополімеру є не просто бажаним параметром – це безумовна необхідність. Якщо температура змінюється на 2°C під час м’якого чи жорсткого висушування, це може порушити контроль за критичними розмірами деталей. Одна лише частинка пилу може зіпсувати цілий вантаж продукції. Ми створили інфрачервоні лампи без озону, які допомагають уникнути таких проблем.
Що має значення з технічної точки зору
Ці лампи працюють у діапазоні ближнього інфрачервоного світла та не виділяють озону. Тож не потрібно використовувати каталітичні конвертери та займатися їх обслуговуванням. На всій поверхні пластини температура залишається стабільною в межах ±0,1°C, а повторюваність процесу – в межах ±0,2°C.
Система призначена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100: використовуються матеріали з низьким рівнем викидів газів, оптичні шляхи є закритими, а система подачі повітря запобігає потраплянню частинок на пластину. Стабільність параметрів системи становить менше 1% протягом 5 000+ годин роботи – це означає, що система може працювати 24/7 без необхідності постійної калібрування.
Чому це ефективно в промисловості
Ефективність обробки фотополімеру залежить від температурних умов. Наші інфрачервоні лампи швидко нагрівають пластину, при цьому є строгий контроль температури, що забезпечує стабільність параметрів від однієї партії до іншої. Це дозволяє досягти кращої однорідності розмірів деталей, зменшити кількість корекцій та планувати обсяг виробництва.
Оскільки лампи швидко досягають заданої температури та утримують її без перевищень, споживання енергії зменшується. Довгий термін служби також зменшує потребу в запасних частинах та праці з обслуговування. На складних етапах виробництва поєднання відсутності озону, низького рівня утворення частинок та точного контролю температури захищає пластину та саме обладнання.
Що потрібно врахувати під час планування
Ці лампи інтегруються зі стандартними інтерфейсами полупровідникового обладнання, але важливо врахувати теплові умови роботи обладнання. Під час встановлення необхідно врахувати можливості відведення тепла та напрямок потоку повітря – якщо проект охолодження є недостатнім, це може погіршити довгострокову стабільність обладнання.
Необхідно провести коротку перевірку для підтвердження правильності налаштувань. Як тільки налаштування будуть правильними, процес стане прогнозованим.