Trên một dây chuyền 300mm, bạn có thể mất tỷ lệ thành phẩm chỉ với một độ lệch 0,5°C trong quá trình nung photoresist. Kiểm soát chiều rộng đường mạch sẽ nhanh chóng bị ảnh hưởng. Chúng tôi thiết kế bóng đèn sấy wafer để loại bỏ biến động đó—và để hoạt động liên tục khi nhà máy vận hành 24/7.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Bóng đèn giữ độ đồng đều nhiệt chặt chẽ trên mặt phẳng wafer—±0,1°C—giúp các chu trình soft bake và hard bake duy trì ổn định, lô sau lô. Phản ứng nhiệt nhanh giảm thời gian ngâm mà không làm sai lệch hồ sơ nhiệt, giúp rút ngắn chu trình và giảm tiêu thụ năng lượng. Bộ phát tia phù hợp với phòng sạch Class 1–100, không sinh ra hạt và không phát thải khí gây ảnh hưởng đến photoresist. Tuổi thọ dài và đầu ra ổn định: hơn 5.000 giờ với sai số độ sáng và nhiệt độ dưới 5%, nhờ vậy có thể chịu được tải vận hành 7×24 mà không gây dừng máy ngoài kế hoạch.
Tại sao nó được sử dụng trong lithography và xử lý resist
Khả năng lặp lại là tiêu chí duy nhất. Bóng đèn giữ ổn định điểm đặt trong những lần tải lặp lại, giúp kích thước quan trọng duy trì theo thông số kỹ thuật và giảm công tác sửa lỗi lại. Độ đồng đều nhiệt giảm lỗi tại mép wafer, và tốc độ ổn định nhanh cải thiện sự chuẩn hóa đồng đều giữa các sản phẩm và máy móc. Kết quả là giảm số lần phải điều chỉnh quy trình, duy trì ổn định mật độ hạt và kế hoạch bảo trì thực tế. Tiêu thụ năng lượng giảm vì hệ thống đạt nhiệt độ và duy trì hiệu quả mà không bị vượt quá.
Thực tế trên hiện trường
Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng bóng đèn phải được ghép đúng với bộ giá đỡ và đường hồi nhiệt phù hợp. Nếu vị trí cảm biến đặt không chính xác, bạn sẽ không tận dụng được lợi thế ±0,1°C đó. Trước khi thay thế, kiểm tra tương thích điện áp và đầu nối với module dryer của bạn, đồng thời xác nhận đánh giá vật liệu phòng sạch phù hợp với môi trường dung môi và photoresist. Thay theo lịch trình, không chờ hỏng mới thay.