Quá trình đóng rắn polyimide trong sản xuất wafer
Trong quy trình in khắc bằng phương pháp litografia, việc làm khô chất polyimide không đơn thuần chỉ là một bước gia nhiệt thông thường. Đó chính là...
Đèn hồng ngoại dùng để sấy polyimide
Trên bề mặt đá phiến này, quá trình nung polyimide chính là lúc mà nguồn năng lượng được điều chỉnh để kiểm soát độ dày của các đường nét trên wafer....