Trên bề mặt đá phiến này, quá trình nung polyimide chính là lúc mà nguồn năng lượng được điều chỉnh để kiểm soát độ dày của các đường nét trên wafer. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ vài độ cũng có thể gây ra sự lệch lạc ở các cạnh của wafer. Các điểm nóng sẽ được biểu hiện qua số lượng hạt trên bề mặt wafer. Quá trình nung cần phải được thực hiện một cách nhất quán, sạch sẽ và nhanh chóng – cho mỗi lô sản xuất.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình nung Chúng tôi thiết kế quá trình nung polyimide bằng cách sử dụng đèn hồng ngoại; bước sóng ánh sáng của đèn này được chọn sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của polyimide. Năng lượng được truyền đến chính những vị trí cần thiết, mà không làm nóng quá mức bề mặt substrat. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với độ sai số khoảng ±0,1°C. Đồng thời, công nghệ này cũng giúp duy trì độ ổn định của nhiệt độ trong suốt quá trình sản xuất. Đèn được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100; các vật liệu và bộ phận cấu thành đèn được chọn kỹ lưỡng để giảm thiểu sự hình thành hạt bụi. Trong quá trình sản xuất, điều này giúp giảm số lần phải sửa chữa, giúp kiểm soát chất lượng sản phẩm tốt hơn, và đảm bảo tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn cao.
Tại sao công nghệ này phù hợp với quy trình sản xuất Quá trình nung polyimide nằm ngay giữa các bước xử lý nhiệt trong quy trình sản xuất photore Resist. Đèn hồng ngoại này có thể được sử dụng thay thế cho các loại đèn thông thường, với chất lượng tương đương với các loại đèn được sử dụng trong các nhà máy sản xuất đạt tiêu chuẩn SEMI. Bạn vẫn có thể duy trì quy trình sản xuất ban đầu, nhưng lại có thể nhanh chóng đưa nhiệt độ lên mức cần thiết, tiết kiệm năng lượng hơn, và kéo dài tuổi thọ của đèn. Thời gian hoạt động ổn định của đèn lên đến 5.000 giờ, đáp ứng được các tiêu chuẩn quốc tế. Đối với các kỹ sư, điều này có nghĩa là ít phải sửa chữa hơn, ít thời gian bảo trì hơn, và quá trình nung có thể được lặp lại một cách nhất quán từ lô này sang lô khác.
Các chi tiết kỹ thuật Việc lắp đặt đèn khá đơn giản, nhưng độ chính xác trong việc định vị đèn lại rất quan trọng. Đèn cần được đặt ở vị trí phù hợp với cấu trúc bề mặt wafer để đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ. Bạn cần thực hiện một vài thử nghiệm để xác định chính xác nhiệt độ cần thiết. Một khi quy trình đã được thiết lập, bạn có thể coi đó là một yếu tố quan trọng trong quy trình sản xuất. Nhờ đó, bạn có thể tin tưởng vào độ ổn định của nhiệt độ trong suốt quá trình sản xuất.