Giữ cho các tấm wafer MEMS luôn sạch sẽ trong quá trình sấy khô
Nếu bạn làm việc trong phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn biết rằng một hạt bụi nhỏ từ bộ phận sưởi cũng có thể khiến cả lô wafer trở thành rác thải. Điều này thật khó chịu. Chính vì vậy, chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.
Hầu hết các bộ phận sưởi sau một thời gian sử dụng sẽ bắt đầu phát ra khí hoặc bong tróc. Nhưng các ống thạch anh này thì không như vậy. Chúng tạo ra lượng nhiệt lớn để sấy khô wafer một cách nhanh chóng, mà không để lại bất kỳ chất kim loại nào.
Tại sao thạch anh lại hiệu quả?
Chúng tôi chọn bước sóng hồng ngoại ngắn vì nó có thể loại bỏ độ ẩm trên bề mặt wafer nhanh hơn nhiều so với bước sóng dài. Do thạch anh có độ tinh khiết cao, bạn không cần lo lắng về việc các ion di chuyển vào các cảm biến MEMS. Hơn nữa, lớp vỏ thạch anh giúp giữ cho sợi wolfram khỏi tiếp xúc với không khí trong phòng sạch. Chúng tôi tránh sử dụng thủy tinh rẻ tiền vì nó không thể chịu được áp lực cao – nó sẽ nứt vỡ ngay khi hoạt động ở chế độ công suất cao.
Hiệu suất cao trong không gian nhỏ
Các bóng đèn này có khả năng phát ra lượng nhiệt lớn trong mỗi inch vuông. Điều này giúp giảm kích thước bộ phận sưởi, đồng thời vẫn đảm bảo lượng nhiệt cần thiết để bay hơi chất lỏng ngay lập tức. Chúng cũng hoạt động tốt cùng với các bộ điều khiển PID hiện có, giúp duy trì nhiệt độ ở mức mong muốn.
Lưu ý quan trọng
Vì mật độ nhiệt rất cao, bề mặt bóng đèn sẽ nóng lên rất nhanh. Nếu vỏ bảo vệ bóng đèn không được thiết kế để chịu được dòng khí nhiệt cao, nó có thể bị biến dạng hoặc khiến các cảm biến quá nhiệt hoạt động liên tục. Bạn cần chú ý đến điều này khi lắp đặt.
Quá trình sấy khô thực tế
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này để thay thế các hệ thống xử lý wafer tự động. Chúng có thể làm nóng toàn bộ bề mặt wafer một cách đều đặn, giúp loại bỏ các vùng “lạnh” và các vết bẩn trên bề mặt wafer.
Điều tuyệt vời nhất là không có luồng khí nóng nào thổi qua bề mặt wafer. Bạn không cần lo lắng về sự xáo trộn của luồng khí, vốn có thể khiến các hạt bụi bay lên từ các mép wafer. Bạn sẽ có được bề mặt wafer khô ráo và sạch sẽ.