Trong quy trình sản xuất bằng phương pháp in ấn, khả năng lặp lại trong quá trình sấy phim huỳnh quang không chỉ là yếu tố quan trọng mà còn là điều kiện thiết yếu để đảm bảo chất lượng sản phẩm. Sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình sấy có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của các thông số kỹ thuật liên quan đến kích thước của wafer; một hạt bụi nhỏ cũng có thể phá hủy toàn bộ lô sản phẩm. Chúng tôi đã chế tạo ra các bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone để loại bỏ những yếu tố gây ảnh hưởng này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Các bóng đèn này hoạt động ở dải bước sóng hồng ngoại gần, và không chứa ozone, vì vậy bạn không cần phải sử dụng bộ chuyển đổi xúc tác hay lo lắng về việc bảo trì thiết bị. Trên toàn bộ diện tích được chiếu sáng, độ đồng đều về nhiệt độ của wafer duy trì ở mức ±0,1°C, còn độ lặp lại giữa các lần sản xuất thì ở mức ±0,2°C.
Hệ thống này được thiết kế cho môi trường phòng sạch cấp độ 1–100: vật liệu sử dụng ít khí thải, đường dẫn ánh sáng được đóng kín, và dòng khí được kiểm soát chặt chẽ để ngăn không cho bụi bẩn tiếp xúc với wafer. Độ ổn định của hệ thống dao động dưới 1% sau 5.000 giờ hoạt động – điều này có nghĩa là hệ thống có thể hoạt động 24/7 mà không cần điều chỉnh liên tục.
Tại sao hệ thống này lại hiệu quả trong sản xuất
Quá trình xử lý phim huỳnh quang phụ thuộc rất nhiều vào điều kiện nhiệt độ. Các bóng đèn hồng ngoại của chúng tôi giúp làm nóng wafer một cách nhanh chóng và chính xác, với khả năng kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ, giúp đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ giữa các lô sản phẩm. Nhờ đó, chất lượng sản phẩm được nâng cao, số lần sửa chữa giảm đi, và bạn có thể dễ dàng lên kế hoạch cho quy trình sản xuất.
Vì bóng đèn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và ổn định, nên mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm đi. Thời gian sử dụng lâu cũng giúp giảm chi phí dự trữ linh kiện và chi phí bảo trì. Ở các công nghệ sản xuất tiên tiến, việc không có ozone, ít bụi bẩn, và khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp bảo vệ wafer và môi trường sản xuất.
Những điều bạn cần lưu ý khi lập kế hoạch
Các bóng đèn này có thể được tích hợp với các thiết bị半导体 tiêu chuẩn, nhưng con đường truyền nhiệt cũng rất quan trọng. Khi lắp đặt, cần phải xem xét cách thiết kế để giải tỏa nhiệt và dòng khí trong thiết bị – nếu thiết kế này không phù hợp, độ ổn định của hệ thống sẽ bị ảnh hưởng.
Hãy thực hiện một vài lần kiểm tra ngắn để xác nhận mức nhiệt độ mong muốn so với các thông số kỹ thuật của wafer và quá trình di chuyển của nó. Một khi đã đạt được sự chuẩn xác cần thiết, quy trình sản xuất sẽ diễn ra một cách ổn định.