在制造氢气传感器时，其实是在进行一场高风险的赌博。哪怕只有一粒灰尘，都可能毁掉整批产品。
正因如此，在Class 100级洁净室中，普通加热器简直就是一种灾难。因为一旦开始加热，这些加热器就会释放出颗粒物或气体。这种风险是绝对无法承受的。
为了解决这个问题，我们使用高纯度的石英红外灯。之所以选择这种材料，是因为它的热胀冷缩程度极低，不会破裂或剥落。而且由于它是纯石英制成的，所以不会产生任何会在高温下汽化的杂质或粘合剂。
热量是通过短波红外线传递的，它直接作用于基底上，而不会浪费时间去加热周围的空气。这样一来，就不会产生导致灰尘飞扬的对流现象了。
再来说说“烧录”阶段的问题。你可能见过普通的卤素灯，它们通常使用劣质粘合剂或密封材料，一通电就会产生烟雾或挥发性有机化合物。但我们不会这么做。我们会使用专门的密封装置以及高品质的电极，同时还会去除所有的有机涂层。
这样，灯光在固化或沉积过程中就能保持清洁且安静，不会出现任何异常情况。
不过，这类灯具的功率非常高，能在几秒钟内达到目标温度。但由于其强大的热量，安装时必须格外小心。如果固定得太紧，石英管就可能会因为在热应力作用下而断裂。
我的建议是使用浮动式支架，给灯泡一些空间，让它能够正常工作。
将这些灯具引入生产流程其实很简单。我们会根据您的需求，提供合适的功率和长度。这样，整个传感器晶圆上的热量分布就会更加均匀，不会有热点或污染问题，只有纯粹、纯净的热量而已。