停止让加热元件破坏你的晶圆吧！
如果你在操作100级洁净室，那你肯定知道那有多糟糕。哪怕只是一点极小的杂质——小到肉眼都看不见的颗粒——落到晶圆上，整个批次的晶圆就报废了。这既令人沮丧，又成本高昂。而这种问题的根源通常在于加热元件的排气或颗粒脱落现象。
为了解决这个问题，我们决定使用高纯度的合成石英来制造红外灯。
为什么石英如此重要？
普通玻璃或廉价石英根本无法承受半导体环境中的高温。当温度升高时，这些杂质就会分解。这样一来，灯光就会开始“冒烟”，或者有颗粒脱落。
而我们使用的熔融石英则不同。它的金属杂质含量极低，因此灯光能够保持清洁状态。此外，它还具有化学惰性，无论你向设备中通入何种工艺气体，它都不会发生反应。
将热量精准地传递到需要的地方
你需要让晶圆快速升温，但同时又不希望周围的空气也被加热。我们的灯采用短波辐射，可以直接照射到晶圆表面。这样做可以避免对流带来的灰尘问题，从而防止颗粒飞溅到产品上。
你可以根据实际需求选择合适的功率和电压。如果选择高功率密度，就能节省更多空间。不过需要注意的是，通过短管输送大量能量会产生大量热量，因此必须确保冷却系统能够胜任这一任务，否则连接部件可能会被烧毁。
更换方便，无需过度操心
没人愿意花数小时进行维护工作。我们提供了多种端盖选项，以确保良好的密封效果，这才是防止洁净室出现真空泄漏的唯一方法。
当灯泡损坏时，只需将其取出并换上新的即可。无需重新接线或花费时间清洁相关区域。这样既快捷又干净，还能避免在更换过程中引入新的污染物。