সময় নষ্ট করা বন্ধ করুন: ওয়েফারগুলো গরম করার জন্য হট এয়ারের চেয়ে IR হিটিং কেন ভালো?
অপেক্ষা করার ঝামেলার কথা আসুন বলি।
সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে আমরা বছরের পর বছর ধরে হট এয়ার সিস্টেম ব্যবহার করে আসছি। কিন্তু সমস্যা হলো: হট এয়ার খুব ধীরগতির। এর জন্য একটি মাধ্যম দরকার; প্রথমে চেম্বারটিকে গরম করতে হয়, তারপর চেম্বরের ভেতরের বাতাসকে গরম করতে হয়, আর তারপরই ওয়েফারটিকে গরম করা যায়। এটা খুবই জটিল প্রক্রিয়া।
ইনফ্রারেড (IR) হিটিং এই সমস্যাগুলো দূর করে দেয়। এটা বাতাসের ব্যাপারে চিন্তা করে না; সরাসরি শিলিকনে শক্তি পাঠায়।
সময় কম লাগে
IR হিটিং ব্যবহার করলে “উষ্ণ হওয়ার” প্রক্রিয়াটি আর দরকার হয় না। কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই লক্ষ্য তাপমাত্রা অর্জন করা যায়।
আপনার প্রক্রিয়াকরণ সময়কাল কমে যায়। প্রতি ঘণ্টায় আরও বেশি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ করা যায়। এটা কাজের গতির জন্য অত্যন্ত উপকারী।
সঠিক দূরত্ব খুঁজে বের করা দরকার
শুধুমাত্র শক্তি বাড়ালেই হবে না; সঠিক দূরত্বও খুঁজে বের করতে হবে।
যদি IR ল্যাম্পটি খুব কাছে থাকে, তাহলে ওয়েফারের পৃষ্ঠে অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হবে; আর যদি খুব দূরে থাকে, তাহলে তাপের তীব্রতা কমে যাবে।
আমরা সাধারণত প্রতি বর্গ সেন্টিমিটারে কত ওয়াট শক্তি ব্যবহৃত হচ্ছে তা দেখে এটা নির্ধারণ করি। যদি উচ্চ-ঘনত্বের IR ল্যাম্প ব্যবহার করা হয়, তাহলে ল্যাম্পটিকে আরও দূরে রাখা যায়; ফলে গতি কমে যায় না।
কিছু সমস্যা রয়েছে
অবশ্যই, কিছুই নিখুঁত নয়।
IR হিটিং কেবলমাত্র নির্দিষ্ট অঞ্চলকেই গরম করতে পারে। যদি ওয়েফারটির আকৃতি জটিল হয়, অথবা একাধিক ওয়েফার একসাথে প্রক্রিয়াকরণ করতে হয়, তাহলে শুধুমাত্র ল্যাম্প ব্যবহার করলেই হবে না। রিফ্লেক্টর বা মাল্টি-অ্যাঙ্গেল অ্যারে ব্যবহার করলেই ঠিক ফলাফল পাওয়া যাবে।
আর নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা নিয়েও একটি সতর্কতা দরকার: IR হিটিং অত্যন্ত দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়। যদি PID লুপগুলো ধীর হয়, তাহলে কন্ট্রোলার কিছু বোঝার আগেই তাপমাত্রা অতিরিক্ত হয়ে যাবে। এটা প্রক্রিয়াকরণকে ধ্বংস করার দ্রুত উপায়। আপনার এমন একটি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা দরকার, যা আলোর গতির সাথে তাল মিলিয়ে কাজ করতে পারে।