Na lince o délce 300 mm platí známé pravidlo: i malá odchylka 1 °C během zahřívání fotorezistu může způsobit, že kritické rozměry výrobku přestanou odpovídat specifikacím. Vytvořili jsme systém infračervených lamp na bázi uhlíkových vláken, abychom tomu zabránili. Tyto lampy nahrazují běžné halogenové a křemenné zdroje světla – jedná se o emitory na bázi uhlíkových vláken, které fungují v oblasti dlouhých vlnových délek. Díky tomu dochází k rychlému a rovnoměrnému zahřívání – bez vzniku „horkých míst“.
Měřit lze tepelnou jednotnost na úrovni čipu – odchylky dosahují pouze ±0,1 °C po celé ploše povrchu, který se zahřívá. Opakovatelnost těchto hodnot zůstává v téže mezí i po tisících opakováních. Reakce lampy je pod sekundu, což umožňuje přesnou kontrolu nad procesem zahřívání. Lampa funguje v prostředí třídy 1–100 bez jakýchkoliv problémů s částicemi. Navíc splňuje nároky na nízkou míru uvolňování plynů v procesech pokročilé litografie. Spotřeba energie je o 30 % nižší než u halogenových lamp. Emitor vydrží pracovat více než 5 000 hodin při plné výkonosti, s odchylkou menší než 5 %.
Co to znamená v praxi? Přesnější kontrola kritických rozměrů, méně oprav a stabilnější výsledky vyrábění, jak se uzly čipů stále zmenšují. Můžete používat tenčí vrstvy fotorezistu bez obav, udržet konzistentní chování materiálu po celém povrchu čipu a zabránit odchylkám v teplotním režimu mezi jednotlivými stroji. Lampa se snadno integruje do existujících procesů natírání a zahřívání, díky standardním rozhraním a postupům kalibrace – nemusíte tedy znovu ověřovat celý proces.
Instalace spočívá v řízení tepelného zatížení a geometrie prostoru, ve kterém se lampa nachází. Uhlíkové vlákna nemají ráda mechanické napětí, proto musí být montáž provedena tak, aby se zabránilo jejich poškození a aby mohla volně expanovat. Je potřeba provést krátký testovací cyklus, abyste zjistili úroveň emisivity v jednotlivých oblastech a nastavili parametry PID podle vašich požadavků. Jakmile budou parametry nastaveny správně, lampa poskytne tu stabilitu, kterou proces vyrábění vyžaduje – den za dnem.