V prostředí výroby může i malá odchylka o půl stupně narušit kritické rozměry a způsobit ztrátu celé série výrobků. Naše řídící zařízení typu SCR je určeno k tomu, aby tuto odchylku eliminovalo hned u zdroje – takže výstupní napětí lampy odpovídá specifikacím, nikoli napětí v síti.
Co je z technického hlediska důležité:
Jedná se o řídící zařízení typu SCR s uzavřenou smyčkou, spojené s napájecím obvodem lampy, který je přizpůsoben pro halogenové, křemíkové, krátkovlnné, střednovlnné a uhlíkovovláknové zdroje světla. Díky tomu je dosažena tepelná jednotnost na úrovni ±0,1 °C po celé ploše desky – opakovatelnost mezi jednotlivými výrobky zůstává v rozmezí ±0,2 °C. Výstupní napětí zůstává v rozmezí 0,1 % od nastavené hodnoty, s odezvou pod 10 ms na změny nastavených hodnot. Zařízení je navrženo pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 – nevznikají žádné částice v důsledku tepelné aktivity, a jeho konstrukce zajišťuje minimální rušení signálů, aby neohrozila proces litografie.
Průběh procesu zpracování fotorezistu – proces měkkého pečení, tvrdého pečení a dalších kroků po expozici – závisí na tepelném režimu. Díky řídícímu zařízení typu SCR zůstává energetický výkon lampy konstantní, což umožňuje dosažení požadovaných parametrů pokaždé. Výsledkem je méně oprav, vyšší míra úspěšnosti prvního pokusu a konzistentní tepelné parametry napříč jednotlivými deskami a sériemi výrobků.
Navíc se šetří energie, protože lampa není přetěžována kvůli fluktuacím, a její životnost se prodlužuje díky stabilním provozním podmínkám.
Zde jsou praktické detaily, které potřebujete vědět: Napájecí obvod musí být přizpůsoben křivce odporu lampy při chladném startu; nepřizpůsobené lampy mohou způsobit vysoký nárazový průtok proudu a spustit ochranná zařízení. Instalace vyžaduje samostatnou, tišší řídicí linku, která musí být oddělena od vysokoproudých vodičů. Tepelná mezera musí být čistá a rovná, aby byly dodrženy požadované parametry jednotnosti. Očekávejte krátký proces kalibrace PID pro konkrétní lampu a desku.