Na lince 300 mm můžete sledovat úbytek výnosu při posunu teploty o 0,5 °C během pečení fotoresistu. Řízení šířky linií se rychle vymyká kontrole....

Na výrobní lince může jedna chyba při soft bake znamenat ztrátu celé směny litografie. Pokud začíná vysychací lampa podávat nižší výkon, profily...

Na litografické lince startuje časovač ve chvíli, kdy wafer dosáhne požadované teploty. Soft bake a hard bake nejsou jen „ohřívací kroky“. Jsou to...