Auf einer 300mm-Linie kann man beobachten, wie der Ertrag bei einer Drift von 0,5°C während des Bakens von Photoresist schwindet. Die Kontrolle der...

Auf dem Fertigungsboden kann ein einziger Fehler beim Softbake eine gesamte Lithographieschicht zunichtemachen. Wenn die Trocknungslampe nachlässt,...

Auf der Lithographie-Ebene beginnt die Uhr in dem Moment zu laufen, in dem der Wafer die Temperatur erreicht. Softbake und Hardbake sind nicht nur...