Out on the fab floor, lernen Sie, Temperaturschwankungen bei der Fotoresistverarbeitung wie einen alten Feind zu behandeln. Ein Softbake bei 90°C mit...

Auf der Fertigungslinie kann eine Drift von 0,3 °C beim Backen des Photoresists zu einer Linienbreitenabweichung führen, die einen kompletten...